中古 MRC 603 #9206603 を販売中

MRC 603はマテリアルズリサーチ株式会社が製造・販売している高性能スパッタリング装置です。このシステムは、超滑らかで高い蒸着速度、コンフォーマルエントリー層の堆積が必要なアプリケーション向けに特別に設計されています。このユニットは、プリクリーニングチャンバー、高真空蒸着チャンバ、高圧ガスセプタ、電源、真空制御モジュールなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。機械の前洗浄の部屋は高度の低圧、高輝度マイクロ波およびEUVの光源が装備されています。このチャンバーは、スパッタ沈着前に基板表面を事前に清掃するために使用されます。これは、表面の清浄度と堆積膜の接着性を最適化するのに役立ちます。蒸着は高真空セプタで密閉された高真空蒸着チャンバで行われます。内部圧力は0。1 mtorrから20 torrまで調節可能であり、プロセスガスは1から99％まで調節可能であり、幅広い圧力レベルでの膜の堆積を可能にします。この電源は、10kHzから5MHzまでの幅広いRFパワーレベルと安定した周波数を提供します。スパッタリング工程で基板を回転させ、均一な成膜を実現します。アルゴン、酸素、窒素ガスのような沈着ガスの範囲は望ましい金属化の効果を達成するのに使用することができます。ベースツーノブルガスの異なる比率を適用することで、幅広い蒸着率を実現します。真空制御モジュールは、蒸着中の安定した基圧の維持を可能にします。603は、高品質の薄膜成膜に最適なスパッタリングツールです。このアセットは、KOH結晶や水晶ガラスから厚いウェーハや回路基板まで幅広い基板に対応できます。このモデルは、物理蒸着、化学蒸着、スパッタリング、マグネトロンスパッタリングなど、さまざまな高性能の薄膜技術にも適しています。最後に、機器は非常に信頼性が高く、使いやすいため、科学コミュニティの人々にとって理想的な選択肢となります。