中古 MRC 603 #166010 を販売中

MRC 603は、薄膜材料の物理蒸着に広く使用されている高性能、マルチソーススパッタリング装置です。これにより、異なる材料の最大3つのターゲットの同時スパッタリングが可能になります。スパッタリングのターゲットは特別に設計されたチャンバーで制約され、スパッタリングされた材料の源は無線周波数または直流電子銃から供給されます。パワフルでコンピュータ制御のロータリープラットフォームにより、3つのターゲットすべてを迅速に回転させることができます。システムは特別な遮蔽室、強力なスパッタ源、ターンテーブル、冷却装置および主要な電源で構成されます。源の部屋はoutgassing、塵、粒子および凝縮を防ぐように設計されています。また、スパッタされた材料がチャンバーと基板の間のスペースに閉じ込められることを最小限に抑えるためにディフューザーで設計されています。スパッタソースは、DCとRFの両方の周波数で動作するように構成することができ、実験要件に応じて追加の特別なコンポーネントとともに、さまざまなアノード構成に適応することができます。高出力の回転式プラットフォームは、チャンバー内のすべてのコンポーネントが回転し、実験に最適な位置にあることを保証します。603はまた操作の間に温度の増加を管理するのを助ける冷却装置を含んでいます。それはスパッタ源のための2つの独立した冷却回路、1つおよび用具の残りのための1で構成されます。冷却資産には、速度で調整可能なファン、および複数の流量計および温度センサーが含まれています。MRC 603の主な電源は、広範囲の電流および電圧設定を備えた最先端の工業用グレードのユニットです。この電源は、最大10kWの負荷電流をサポートし、ソースおよびその他のコンポーネントへの電力のスムーズかつ正確な供給を保証します。制御およびデータロギングのために、603はUSBまたはイーサネット接続によってコンピュータに接続することができます。これは、パラメータ設定とグラフィカルディスプレイの広い範囲をユーザーに提供する専用の制御ソフトウェアパッケージが付属しています。全体的に、MRC 603スパッタリングモデルは、研究者に堅牢で信頼性が高く、使いやすいオールインワンスパッタリングソリューションを提供します。これにより、研究者はさまざまな種類の薄膜材料を簡単に実験することができ、スパッタリング工程を正確に制御することができます。