中古 MRC 603 II #9011265 を販売中

MRC 603 IIは、アプライドマテリアルズの先進スパッタリング装置です。モジュラー設計を使用して柔軟性と拡張性を提供し、お客様が特定のニーズや要件を満たすためにシステムを適応できるようにします。このユニットには、1つのソース、直流スパッタリング源（DCSS）が含まれており、フラット基板と曲面基板の両方に最大18ターゲットを堆積させることができます。MRC 603-IIは、大面積の基板を処理するだけでなく、光フィルターのような繊細な基板を処理することができる高いスループット能力を提供します。このマシンは、プロセスの複雑さに関係なく、一貫した高品質の結果を提供することができ、プロセスの再現性とともに優れたエンドポイント検出機能を提供します。603 IIには、シングルターゲット、シーケンシャルターゲット、マルチターゲット、均一なスパッタ層を制御する高度な自動プロセス制御ツールも含まれています。これにより、複雑なプロセスでもプロセス条件と基板の均一性が維持されます。さらに、基板の簡単かつ安全な転送を可能にするロードロック機能と、大規模なアプリケーション向けのオプションのクリーンルーム互換ロールスルーおよびモジュラーシステムを備えています。このアセットは、デジタルシリンジ制御システムとの互換性も高く、超微細なカバレッジ制御を可能にします。統合された測定モデルにより、沈着速度とエンドポイント検出を監視できます。さらに、この装置はリアルタイムのレシピ制御を備えており、プロセスが一貫して再現可能であることを保証します。603-IIは、高いスループット、再現性、および均一性を要求するツールにとって例外的な選択肢です。高品質なフィルムを必要とするハイエンド用途向けに設計されており、フラットパネルディスプレイ、半導体、MEMS、光学、データストレージなど、さまざまなスパッタリング用途に適しています。