中古 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH SCM 650 #9064626 を販売中

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650スパッタ装置は、材料を基板に塗布するために使用される高度な物理蒸着（PVD）ツールです。このプロセスは、対象物質を蒸発させ、真空チャンバー内の基板表面に堆積させる一連のステップで構成されています。MEIVAC SCM 650スパッタシステムは、金属、誘電体の層、およびいくつかの半導体材料を含むさまざまな材料を堆積することができます。ALCATEL SCM 650スパッタユニットは、取り付けと操作が簡単なコンパクトな3コイルマグネトロンスパッタリングマシンです。これは、最大4つの独立したスパッタリングモジュールで、柔軟な操作のために設計されています。各モジュールには、マグネトロン、高真空ポンプステーション、チャンバーマウント型コントローラが装備されています。各コントローラーはプロセス条件に適するために容易にカスタマイズすることができます。COMPTECH SCM 650スパッタツールは、高電圧発電機を使用して、ターゲット材料を蒸気にスパッタするために使用されるイオン化プラズマを作成します。マグネトロンコントロールパネルは、蒸着パワーレベル、ターゲット間の距離、およびターゲット材料の選択を可能にします。これらのパラメータは、最適な沈着結果を得るために調整することができます。SCM 650スパッタアセットには、統合ヒーターと真空リーク検出モデルも付属しています。ヒーターは、均一な蒸着のための最適な基板温度を維持するのに役立ちます。真空漏れ検出装置は、真空漏れの迅速な診断と修正を可能にします。これは、堆積物の品質に悪影響を及ぼす可能性のある、システムに入る任意の粉塵粒子を防止します。MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650スパッタユニットは、よく定義された均一性を持つコンフォーマルコーティングを必要とするアプリケーションに便利です。また、RTPやALDなどの他の基板加熱技術とも互換性があります。MEIVAC SCM 650は薄膜成膜に理想的なツールで、商業および研究所で人気のある選択肢です。