中古 LEYBOLD HERAEUS Z700 #65623 を販売中

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ID: 65623
Automatic sputtering system Z700 stainless steel process chamber (ca. 710mm height x 710mm dia) on a coated mild steel frame Chamber fitted with various flanges and ports 2 pair (4) PK 500 sputter cathodes with teflon isolators, magnets and 1 atmospheric boxes for inner cathodes Inner chamber shielding kit Substrate rotation stage incl. feed through, drive and drive gear Sample/substrate stage will be supplied according to customer specification V1, V2, V3 and V4 valves (chamber, rough vacuum, bypass and venting) (3) MFC with shut off valves Water distribution manifold with 6 lines Each line has a pneumatically operated shut off valve in supply and flow monitor in the returns fitted. Option 1: Vacuum measurement system (1 no. rough vacuum and 1 no. high vacuum gauge, 1 no. MKS Baratron process gauge) Option 2: (4) heaters, 1.1 kW each (2 no. inside substrate carrier stage, 2 no. outside the stage) Option 3: (1) Leybold DK200 rotary vane rough vacuum pump (1) Leybold RUVAC 501 booster pump (3) Leybold TMP1000c turbo pumps with NT1000/1500 controllers (1) stainless steel buffer box for mounting of (3) TMP1000c turbo pumps Vacuum measurement system (1) rough vacuum and (1) high vacuum gauge, (1) MKS Baratron process gauge) Option 4: DC Power supplies (4) 6kW DC power supplies for DC sputtering.
LEYBOLD HERAEUS Z700は、表面に薄膜材料を堆積させるために設計されたスパッタ装置です。反射防止コーティングやエレクトロクロミックコーティング、半導体カプセル化、DBR (Distributed Bragg Reflector)層などの用途に精密で均一なコーティングを生成する高度で柔軟なスパッタシステムです。このユニットはいくつかの利点を備えているため、信頼性と詳細な薄膜蒸着プロセスに最適です。Z700の第一の利点は、幅広い加工の柔軟性です。このマシンにはさまざまなプロセスとチャンバー構成が装備されているため、ユーザーはユニークな構成に素早く簡単にアクセスできます。LEYBOLD HERAEUS Z700は、200リットルのチャンバー容積を持ち、一度に最大8つのターゲットで動作するため、多層蒸着が可能です。また、in-situプロセス用の効率的なガスインジェクションツールと超高真空(UHV)タンクを備えており、超クリーンで高精度な結果を得ることができます。さらに、Z700には、スパッタリングプロセスを完全にカスタマイズするための自動化されたマルチステップレシピを備えた高度な制御資産があります。LEYBOLD HERAEUS Z700の2番目の大きな利点は、その優れた生産性です。このモデルは、従来のスパッタシステムの10倍の蒸着速度を提供し、最大465nm/分の層の蒸着速度を提供します。これにより、高品質の薄膜の量産に適しています。この装置には、自動化されたプログラム可能なデジタル顕微鏡も含まれており、ユーザーは堆積フィルムの品質を迅速かつ簡単に検査することができます。Z700の3番目の利点は、その信頼性の高いパフォーマンスです。このシステムには、スパッタリングプロセスを分析し、必要に応じて自動的にユニットをシャットダウンすることができる高度な故障検出技術が装備されています。さらに、LEYBOLD HERAEUS Z700は、最適な温度安定性を確保し、スパッタターゲットに対する熱損傷のリスクを低減する高度な冷却機で設計されています。さらに、このツールには、プロセスパラメータとパフォーマンスに関するリアルタイムのフィードバック用の電子フィードバック資産が装備されています。全体として、Z700は、さまざまな薄膜材料の堆積のために設計された高度で高効率で信頼性の高いスパッタモデルです。幅広い加工柔軟性、優れた生産性、および信頼性の高い性能を備えたLEYBOLD HERAEUS Z700は、迅速で正確で信頼性の高い薄膜蒸着プロセスに最適です。
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