中古 LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona #196509 を販売中

LABOLDLEYBOLD/BPS ZH 620 Coronaは、様々な蒸着用途向けに設計されたスパッタリング装置です。直流および無線周波数の電力を使用して、さまざまな基板およびプロセスで効率的なスパッタリングを可能にします。基板全体に均一な単層と複数層のハイレートスパッタリング用に設計されています。このシステムには、イオン源、平面マグネトロン、遠隔制御可能な多軸基板ステージが含まれています。イオン源は、コーティング前に表面からの酸化物や汚染を除去するために使用される非常に均一なプレクリーニングプラスムを生成します。放出されたイオンは一組の集中されたコレクターの版によって基質の表面に導かれます。強度源は調節可能な部屋壁および取り外し可能な、可変的な高さの柵の単位を特色にするユーザーフレンドリーなモジュラー設計に含まれています。これにより、異なるプロセスのマシンへの容易なアクセスと再構成が可能になります。平面マグネトロンスパッタ源は、それぞれ最大3キャリアで最大9つのマグネトロンターゲットを保持できます。高レートスパッタリング、ステップコーティング、多層成膜など、幅広い成膜が可能です。ツールフリークランプ機構により、ターゲットを素早く簡単に変更できます。マルチモード動作により、成膜パラメータを基板および成膜プロセスごとに正確に調整できます。このツールは、リモートで制御可能な多軸基板処理ステージも備えています。これにより、基板の精密な動きと位置決めが可能になり、表面全体に均一な堆積物を得ることができます。基板ステージには、独立したバイアスと傾き制御も含まれており、最適なスパッタカバレッジを可能にします。この高度なアセットは、研究、プロセス開発、大量のスパッタリング用途に最適です。さまざまなスパッタリング要件を満たし、信頼性と安定した性能を提供します。容易なアクセスと柔軟な構成により、さまざまなプロセスに適しています。LABOLDBPS ZH 620 Coronaは強力で汎用性の高いスパッタリングモデルで、優れた結果を達成するために設計されています。