中古 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 Corona #9236460 を販売中

LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Coronaは、さまざまな材料の薄膜を一連の陰極アークを介して基板に堆積するように設計された先進的なスパッタリング装置です。半導体の加工・開発に使用される汎用性の高いツールで、様々な用途のナノ構造の調製が可能です。LEYBOLD ZH 620 Coronaは、高解像度のターゲットチャンバー、コンパクトなマグネトロン配置、回転/傾斜蓋、効率的な冷却機構を備えています。高解像度のターゲットチャンバーはナノ構造の精密な加工を保証し、マグネトロン配置は陰極アークの数と位置を変化させることによって堆積プロセスの変更を可能にします。回転して傾くふたは露出された角度の範囲を広げます。BALZERS ZH 620 Coronaは強力なターボ分子ポンプを備えており、途切れないプロセスガスの連続供給を保証します。このシステムはまた、スパッタ材料の品質を制御し、カスタム形状の広い範囲を生成することができます。ZH 620 Coronaは手動モードまたは半自動モードで操作できます。これにより、ユーザーが制御する操作が可能になり、堆積プロセスのパラメータを正確に制御できます。これはまた、生成されたフィルム粒子測定のリアルタイム解析を実行する可能性を提供します。LEYBOLD/BALZERS ZH 620コロナは、陰極アークに最適化されたインシデントターゲット電流のおかげで非常に効率的であり、薄膜をスパッタリングするのに理想的なオプションです。また、透明導電酸化物（TCO）の取得やコーティングされたインプラントの製造など、幅広い用途に適しています。LEYBOLD ZH 620 Coronaは、蓋を閉めるインターロックユニットや自動ノズルシャットオフなどの安全対策を完備しています。また、ポンピングチャンバーのプロセス温度、圧力、温度などの機械パラメータを監視および調整することができます。結論として、BALZERS ZH 620 Coronaは、薄膜やナノ構造をスパッタするための効率的で信頼性の高いツールです。さまざまな高度な機能を備えたこのマシンは、精密な蒸着プロセスを可能にし、生産されたフィラメントの最高品質を保証し、コスト削減と生産性の向上をもたらします。