中古 INFICON XMS-3 #168883 を販売中

INFICON XMS-3は高度のスパッタのコーティングの沈殿プロセスのために設計されている産業等級のスパッタ装置です。それは異なった適用のための複数の部屋構成が付いている真空および真空のコーティングの両方を提供します。ベースチャンバーにXMS-3 60 x 60 cmの加工エリアがあり、酸化物除去や汚染資産などの前処理及び後処理操作のための独立したチャンバーが付属しています。INFICON XMS-3の主要チャンバーは圧力操作であり、手動プロセスと自動プロセスの両方をサポートします。スパッタリングプロセス中に非常に低いチャンバー圧力を容易にし、温度、圧力、ガスの流れなどのプロセス変数をリアルタイムで監視および制御できる効率的なポンピングシステムを備えています。特定のスパッタリング要件に合わせて、さまざまなスパッタソースを利用できます。それはコーティングの結果の優秀な均等性、付着および再現性を提供します。XMS-3はまた基質のより厚く、より密なコーティングを作り出すことができます。INFICON XMS-3は使いやすく、維持しやすい堅牢なデザインを備えています。それに効率的なコミュニケーションおよび操作のための直感的な13インチのタッチスクリーンがあります。また、オートインターロックユニットや非常停止スイッチなどの高度な安全機能も備えています。XMS-3には、基板の積み降ろし用の自動ハンドリングマシンと、簡単で安全な基板の取り扱いのためのウェハ転送ツールも含まれています。さらに、INFICON XMS-3は、プロセスレシピ制御、データロギング、リモートアクセス機能など、さまざまなプロセス開発および監視オプションを提供しています。XMS-3はあらゆる高度の沈殿プロセスのための理想的なスパッタ資産で、実験室および産業設定の両方で信頼でき、反復可能な結果を提供します。