中古 HITACHI SR-P20YE3 #9136355 を販売中

HITACHI SR-P20YE3は、薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。基板に金属や絶縁膜を堆積させることができます。このシステムには、高度な高出力イオン源とコリメートされたプラズマ源が装備されており、高い蒸着速度と高いスパッタ歩留まりを可能にします。ユニットは非常に効率的で、複数の層をスパッタするときに優れた結果を達成することができます。SR-P20YE3に大気に露出しないで機械に200mmまでの基質が荷を積まれることを可能にする統合されたロードロックがあります。これにより、堆積プロセスがより効率的になり、より高品質の堆積が可能になります。装置には高度な真空ツールが装備されており、堆積プロセス中に一貫した高品質の環境を維持するのに役立ちます。HITACHI SR-P20YE3は、種子層、エッチング、スパッタリング、反応スパッタリング技術を使用して、多種多様な薄膜を作成することができます。ステンレス、アルミニウム、チタンなど様々な素材に対応したスパッタリングターゲットを幅広く取り揃えています。さらに、アセットは異なる層（種子層など）を堆積させて接着性を高めたり、電気特性を向上させることができます。また、より複雑なアプリケーションのための多層薄膜蒸着機能を提供します。SR-P20YE3スパッタリングモデルは信頼性が高く、使いやすく、高度な機能により完全な自動化が可能で、プロセスの最適化にかかる時間が短縮されます。また、運転中の安全を確保する包括的な安全装置で構築されています。結論として、日立SR-P20YE3は薄膜成膜用に設計された高品質スパッタリングシステムです。自動化された使いやすい方法で幅広い薄膜を作成できる効率的なユニットです。これは、高品質の薄膜成膜を実現するために探している人のための優れた選択肢となります。