中古 HITACHI IML4-1 #9128628 を販売中

日立IML4-1は、最新鋭のスパッタリング装置です。この真空コータシステムは、外室に内蔵された3段ターボ分子ポンピングユニットを備えており、幅広い動作圧力にわたって安定した性能を発揮します。低圧・低温で精密な薄膜成膜が可能です。IML4-1は蒸発ベースの蒸着ツールを含みます。この技術は、強力なマグネトロン源を使用してサンプルを局所的に加熱し、薄膜を作るために使用できる原子を蒸発させるためのプラズマを作り出します。この資産は、最適化されたフィルムカバレッジのために回転することができます。HITACHI IML4-1は、試料表面全体の蒸発速度と蒸着速度を正確に制御し、均一性を確保することができます。さらに、IML4-1は300mm円形スパッタターゲットの使用を提供します。このスパッタターゲットは、アルミニウム、クロム、チタンなどの様々な金属の薄膜を、非常に高い蒸着率と均一性で堆積させるために使用することができます。また、HITACHI IML4-1には、高エネルギーの遠隔プラズマ源も組み込まれており、サンプルの広い領域を短時間でスパッタすることができます。さらに、自動磁気源を搭載し、成膜プロファイルとフィルムパラメータを正確に制御し、長期安定性を実現します。最後に、IML4-1はまた容易なサンプルのローディングおよび荷を下すことのための負荷ロック装置が装備されています。HITACHI IML4-1は、プラズマモニターやデジタルリーク検出器、熱電対温度計などにより、ユーザーの安全性を高めます。結論として、IML4-1は高速かつ均一な精密薄膜成膜が可能な超高性能スパッタリングシステムです。この最先端のユニットは、操作とメンテナンスが簡単で、研究開発から小規模生産まで、幅広い用途に最適です。