中古 EVATEC Radiance #9154971 を販売中
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EVATEC Radianceは、さまざまな基板上に薄膜を正確かつ確実に作成するために設計された技術的に高度な最新のスパッタリング装置です。プラズマベースの高度なマグネトロンスパッタリングプロセスを使用して沈着する、設備の整った沈殿システムです。このユニットは、高周波電源とターゲット材料のセットを含む真空チャンバーを利用しています。ターゲット材料からの高周波電源プラズマ放出は、正の荷電粒子の衝撃から薄膜を被覆するために使用され、堆積精度と優れたフィルム品質を向上させます。このスパッタリングマシンには、魅力的な利点がいくつかあります。その1つは、低圧で超薄膜を確実かつ正確に沈殿させる能力です。この機能は、プラズマ密度の均一性を制御し、堆積過程で存在する汚染物質の数を減らすことによって機能します。さらに、Radianceにはマグネトロン源を平面から垂直に反転させるオプションがあり、ターゲット材料が効率的に使用されるようにします。この機能は、フィルム欠陥の可能性を低減し、フィルム表面の滑らかさを向上させるのに役立ちます。EVATEC Radianceには、スパッタリングシステムの魅力的な選択肢となるいくつかの追加機能も含まれています。現場での厚さ測定で膜厚をモニターする機能や、膜蒸着の速度を制御する機能などがあります。さらに、このツールはスパッタリングプロセスの問題を監視し、基板に供給されるRF電力の変化を検出することができます。最後に、簡単なユーザーインターフェイスと操作しやすいアセットにより、便利で直感的に使用できます。ラディエンススパッタリングモデルは、信頼性の高い安定したスパッタリング装置を探しているユーザーに多くの利点を提供します。その強力なプラズマ技術は、薄膜の正確な堆積を可能にし、ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、ユーザーフレンドリーで学習しやすいです。さらに、フィルム欠陥の予防、基板温度やプラズマ温度のモニタリング、成膜速度の制御など、高度な機能を備えているため、一貫した精密なフィルムを作成することができます。そのため、信頼性の高いスパッタリングユニットをお探しのお客様に最適です。
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