中古 ENERCON LM3214-09 #182470 を販売中

ENERCON LM3214-09は、マグネトロンスパッタ成膜用の高性能機器です。このシステムは、高品質の薄膜コーティングの製造に最適な性能を提供します。このユニットには、一貫したスパッタ電源を提供できる9 kWの工業用グレードの電源が装備されています。LM3214-09は、それぞれ165mmと210mmの2つの標準サイズのマグネトロンも装備されています。このマシンはまた、2つの4インチの直径ターゲットを備えており、3つの構成を可能にします。スパッタリングツールは、安定したロータリーベーンバッキングポンプ、ステンレス鋼塵抽出フィルター、および強力な低温ポンプを備えています。この資産には、酸素および窒素プロセス用の3-Processガス処理モデルもあります。ENERCON LM3214-09は、精密圧力レギュレーションと均一なプロセスガス分布を備えた先進的な薄膜蒸着用に設計されており、均一な蒸着速度を確保しています。この装置には、内部RFジェネレータと温度コントローラが装備されており、異なる処理シーケンスの基板の温度を正確に制御できます。また、ユーザーが目的の結果を達成するためにプロセスをカスタマイズすることを可能にする多数のプロセスパラメータを持っています。LM3214-09は優れた産業等級の設計に基づいて、可能な最もよいスパッタリングの結果を提供している間その信頼性および性能を保障するために先端技術を組み込みます。過電流/過電圧保護や接地ユニットなど、さまざまな安全機能を備えています。全体的に、ENERCON LM3214-09は、優れた性能と優れた均一性の結果を提供する、さまざまなアプリケーションに適しています。精密圧力レギュレーションと高度な技術により、スパッタリング性能の最高水準を満たすことができ、さまざまな業界で高品質の薄膜コーティングを製造することができます。