中古 CPA / KURDEX 9900 #9053543 を販売中

CPA/KURDEX 9900は、さまざまな基板上の薄膜成膜に精密で信頼性の高いプロセスを提供するように設計された高精度、多機能スパッタリング装置です。これは、陰極アーク蒸着源とスパッタリングのための高度なクロスビーム源の設計を組み込み、高性能、カスタム薄膜蒸着機能の範囲を可能にします。このシステムには、プログラミングプロトコルの選択や統合制御ユニットなど、さまざまなプロセスおよびプロセス制御機能があります。機械は3つの主要な部品から成っています：スパッタリングチャンバー、陰極アーク源および保護エンクロージャ。ガス充填にコンピュータ制御バルブを使用するスパッタリングチャンバーは、必要に応じて超低バックグラウンド圧力を備えています。また、反応室内で安定した真空レベルを維持するように設計された最新の真空ツールも装備されています。このチャンバーには、基板を取り付けるための調整可能な治具、プラズマ閉じ込めおよび均一なプラズマ分布のためのシュラウド、均一なガス流量分布、および精密で信頼性の高い薄膜蒸着プロセスを提供するように設計されたさまざまな機能が含まれています。カソード-アーク源は、回転アノード、回転カソード、および囲まれたジオメトリで構成される最先端のイオン源です。このソースは、高濃度の微細イオンビームを生成し、ワークに正確に導き、均一で一貫した蒸着フラックスを提供します。反応チャンバーと統合された統合制御アセットは、反応温度、プロセス圧力、酸素濃度、バイアス電圧などを制御するためのフルレンジのパラメータを提供します。ソースには、電力制限や安全シャットダウンモデルなど、さまざまな安全機能もあります。保護エンクロージャは、電気ショックから保護し、ソースによって生成された放射から保護するために絶縁チャンバーで構成されています。クォーツウィンドウやさまざまなシールドなど、さまざまなオプションも利用でき、操作の安全性を確保します。全体として、CPA 9900は精密で信頼性の高い薄膜蒸着プロセス用に設計された高度なスパッタリング装置です。容易な操作および維持のために設計されている信頼でき、安全なシステムであり、質の薄膜の沈殿プロセスを要求するあらゆる産業適用のための大きい選択です。