中古 CANON / ANELVA NC-7900 #9197043 を販売中

キヤノン/ANELVA NC-7900は、研究用および産業用スパッタコーティング用に設計された最先端のスパッタ装置です。このシステムは、3ソースの平面マグネトロン源の構成を組み込み、複数のスパッタリング電極蒸着源を同時に使用することができます。CANON NC-7900は、蒸着プロファイルに対する優れた制御を提供し、各ソースを独立して制御し、高真空および低真空アプリケーションの両方で動作することができます。このユニットは、拡張可能なアクティブガスコントロールオプションを備えており、窒素、酸素、アルゴンなどのさまざまなガス、ならびに酸素や窒素などの反応アンビエントのスパッタを可能にします。ANELVA NC-7900は、直径250mmの両面フラット形状のチャンバーを内蔵し、大型基板に対応するように設計されています。メンテナンスが容易な内部構造で設計されており、各ソースごとに個別のメンテナンスパネルを備えています。また、イオン爆撃とスパッタリングされたフィルムプロファイルを正確に制御する高度な磁界制御ツールと、各ソースの独立したガス流量制御を備えています。このスパッタリングアセットには、最大4つの独立したガス用の大型ガスインフィードポート、および真空圧力、温度、ガス圧力、機器の性能データなどのモデル情報を提供する見やすいLCDディスプレイも備えています。追加機能として、NC-7900はLAN接続を介してリモートで操作することもできます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度な機能を備えたCANON/ANELVA NC-7900は、研究および産業用スパッタコーティング用途に最適です。