中古 CANON / ANELVA ILC 1051 #9220143 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1051は、さまざまな用途に優れたスパッタリング結果を提供するために設計された最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、メインチャンバー、回転式プラズマ源、メインプラズマ源、高周波RFプラズマ接続、および一連の磁石で構成されています。CANON ILC 1051のメインチャンバーはステンレス製で、耐食性とメンテナンス性に優れています。チャンバー内では、アルゴン、酸素、窒素などさまざまなプロセスガスを使用できます。また、高周波RFプラズマによって結合された独自の回転式プラズマ源を利用しています。この新しいプラズマ源は、従来のDC駆動プラズマ源と比較して、より効果的なスパッタリングを可能にする高エネルギー粒子を生成します。さらに、この機械には、プラズマの拡散を制限し、制御可能なスパッタリング速度を提供するのに役立つ磁石が装備されています。ANELVA ILC-1051は、スパッタリング用途に多くの利点を提供しています。ステンレス製の構造により、頻繁なメンテナンスが不要となり、独自の高周波RFプラズマ源により、優れたプロセスのための高エネルギー粒子が生成されます。磁石はスパッタターゲットの寄与量を簡単に制御することができ、スパッタリングプロセスが改善されます。さらに、このツールは、ユーザーが簡単に任意のスパッタ操作に適応することができ、操作の広い範囲を処理するように設計されています。全体として、キヤノンILC-1051はスパッタリングアプリケーションの先進的な資産です。高周波RFプラズマ源と磁石は優れたスパッタリング性能を発揮し、ステンレス鋼構造の構築はメンテナンス要件を低減します。このモデルでは、ユーザーは改善された品質と前駆体形成だけでなく、装置の寿命を延ばすことができます。