中古 CANON / ANELVA ILC 1012 #9103093 を販売中

CANON/ANELVA ILC 1012は、半導体・薄膜デバイス製造に最適な高性能・多機能スパッタリング装置です。これは、RF容量を備えた高出力ブラシレススパッタリングシステムと、高出力、ダイオード配置およびコンピュータ制御のキセノンイオンシャワーヘッドで構成されています。このユニットは、コーティングの改善、成膜率の向上、および異なるサイズと形状の基板全体の均一性を提供するように設計されています。CANON ILC 1012は、最大470Vの均一な電界を有するアノードフリーの真空環境を提供します。これにより、非導電基板においても、最高品質の成膜が保証されます。また、バブルフリーチャンバーを採用し、汚染を最小限に抑え、製品の均一性を確保しています。フィルムの均一性をさらに向上させるために、統合された機能により、反転設計シャッターとチャンバーターゲットマスクを統合して、基板ターゲット表面の蒸着速度を最適化することができます。このツールは、アルミニウム、クロム、タンタルを含む最大8つのターゲットを一度に組み合わせることができ、マルチレベルのアプリケーションに非常に汎用性があります。このアセットは、ターゲットごとに10〜550ワットの調整可能な電力も提供しているため、さまざまなタイプの堆積プロセスに最適です。さらに、このモデルには、偏差を認識して除去できる自動プロセスモデルがあり、膜厚と均一性を優れた制御が可能です。ANELVA ILC 1012はまた容易なデータ収集およびプロセス制御のための制御ソフトウェアパッケージを含んでいます、また知性の自動調節機能は沈殿させたフィルムの一定した厚さを維持するためにスパッタプロセスを動的に制御できます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備え、水冷RF発電機と必要な安全装置とシールが装備されています。全体的に、ILC 1012スパッタリングシステムは、コストの削減とプロセス制御の改善を備えた高品質のコーティングを提供し、半導体および薄膜デバイス業界の用途に最適です。