中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9018208 を販売中

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1は、高性能な表面と薄膜を製造するために設計されたスパッタ装置です。アルゴンまたはキセノンイオンの10kVまでの高エネルギーイオン源、高精度な回転生産目標、生産目標の回転マウント、ガス分配モジュール、カソード、アノード、最新のコントローラーシステムで構成されています。ユニットのイオン源は、イオンから原子への放出を最大化するために最適化されています。これは、10^14cm-2s-1の非常に最適な密度と10kVまでのビームエネルギーでイオンビームを生成することができます。高精度な回転生産目標により、材料を基材に均一に堆積させることができます。チャンバー内の温度と雰囲気は、エッチング、成膜、クリーニング、基板前処理などのさまざまな表面処理のために正確に設定および制御することができます。この機械には、プロセスガスの究極の均一性を担うガス分配モジュールも装備されています。水素、窒素、酸素、アルゴン、塩素、キセノンなどの様々なガスは、アプリケーションや基材に応じて、異なるプロセスに使用することができます。ガスライン分布は電子的に制御され、製品全体にわたってガス分布の均一性を可能にします。このツールには、さまざまな外部デバイスに接続されている最新のコントローラアセットも含まれています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、リアルタイムデータ監視と幅広いツールを提供し、ユーザーが望むパラメータを迅速かつ簡単に達成できるようにします。コントローラーモデルはまた、ユーザーに異なるプロセスの異なるレシピをプログラムする機能を提供します。CANON I-1060SVII PLUS-1は、高精度な成膜、ハードコート、スパッタリング、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）など様々なプロセスを経て、基板上の薄膜層のスパッタリングに最適です。残留を最小限に抑え、コーティングプロセスを最適化するように設計されています。精度、制御、均一性、精度の理想的な組み合わせを提供することにより、装置はさまざまな分野で高品質の製品を生産するために使用することができます。