中古 CANON / ANELVA C-7730FH #9167770 を販売中

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CANON / ANELVA C-7730FH
販売された
ID: 9167770
ウェーハサイズ: 5"
Sputtering system, 5".
キヤノン/ANELVA C-7730FHは、薄膜成膜用に設計されたスパッタリング装置です。導体から半導体まで様々な薄膜を堆積させることができ、様々な光学材料にも対応できます。キヤノンのC-7730FHシステムの中核には、スパッタリングプロセスを駆動するイオン化ガスを開始するために使用される陰極があります。このイオン化されたガスは電場によって加速され、ターゲット材料に向けられます。イオンが標的物質に当たると、材料が脱落し、次に目的の基板に堆積します。ANELVA C-7730FHは、効率的なスパッタリングユニットとして設計されており、材料を均一に沈殿させ、安定したスパッタレートを長期間保持することができます。薄膜C-7730FH成膜に便利で効果的な機能を幅広く備えています。この機械には、大型基板に均一なフィルムを堆積させることができる調整可能な回転スパッタヘッドが装備されており、表面の電子欠陥を低減して薄膜を均質化する「アンチスクイージ」機能が装備されています。また、スパッタリング電力の増加を可能にする高い電源を備えており、より速い生産速度を実現します。別の実用的な機能には、特定の領域をターゲットにするためのさまざまなファネル形状が含まれます。アセットには、ターゲット材料の積み込みとスパッタヘッドの位置決めからスパッタリングパラメータとレシピコントロールの選択まで、堆積サイクル全体を制御するオンボードコンピュータが含まれています。このコンピュータはまたカスタマイズされた調理法の範囲を貯えることができます、特定の適用に適するために変数を調節することを容易にします。CANON/ANELVA C-7730FHには、高品質の品質管理を保証するさまざまな診断機能も含まれています。これには、スパッタリング電力、温度、室圧などのデータを検出する機能と、堆積グラフからの信号を分析する機能が含まれます。これにより、モデルを簡単かつ効率的に監視することができ、基板が正確かつ一貫して補償されることを保証するのに役立ちます。キヤノンC-7730FHは、さまざまな用途で高品質の薄膜成膜を実現するために設計された汎用性の高いスパッタリング装置です。それは効率的な生産率を提供し、沈殿させたフィルムの均一性そして均質性を高めるように設計されているいろいろな特徴が装備されており、オンボードコンピュータは容易な調理法のカスタム化および品質管理の監視を可能にします。
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