中古 CANON / ANELVA C-7730FH #9167769 を販売中

キヤノン/ANELVA C-7730FHは、各種材料の厚膜を基板に塗布するスパッタリングシステムです。蒸着には高真空チャンバーとマグネトロンスパッタリングを使用しています。CANON C-7730FHは、用途や成膜材料に応じてカスタマイズ可能です。プログラマブル同軸システム（PCS）を搭載しており、異なるタイプのマグネトロン角度を可能にします。また、熱蒸発源を含む複数の蒸着源を備えており、複数の層の蒸着を可能にしています。ANELVA C-7730FHは、高度なターボ分子ポンプ（TMP）を使用してチャンバー内に真空を作成し、スパッタリング処理を行うことができます。TMPは、2 x 10-3 Paから5 x 10-5 Paまでの範囲の圧力を達成することができます。C-7730FHは1nmから200nmのフィルム厚さの範囲を作成することができます。これは、異なる電源設定でスパッタリングプロセスを介して達成することができます。PCSは、チャンバー内のさまざまな角度と位置にマグネトロンを設定できるため、スパッタリング時の正確な制御量を可能にします。キヤノン/ANELVA C-7730FHは、高度なスパッタコーティング処理に必要な高度な分析能力を備えています。それはフィルムの構成を測定できる分光計が装備されています。また、水晶マイクロバランサーを搭載しており、堆積膜の厚さと均質性を測定することができます。この情報を使用してスパッタリングプロセスを微調整し、必要な膜厚と組成を正確に作成できます。CANON C-7730FHは、カスタマイズ可能な機能が高いため、様々な用途に適したチューニングが可能です。半導体デバイス、光学部品、機械部品などのエレクトロニクス関連部品に使用するために、異なる材料組成の厚膜を堆積することができます。