中古 CANON / ANELVA 1060 #9135855 を販売中

CANON/ANELVA 1060スパッタリング装置は、半導体加工のサンプルに厚く均一な薄膜を作成するために設計された高性能システムです。このユニットは、物理蒸着法であるスパッタリングを利用して、材料の薄い層をワークの表面に堆積させます。CANON 1060で使用される陰極は、サンプル表面を熱エネルギーで爆撃し、表面を噴霧して所望の薄膜を作成するガス放電を生成します。ANELVA 1060は4 kWのDC電源によって動力を与えられる単一のマグネトロンスパッタリング用具です。プロセスチャンバーとサポートチャンバーを収容する2つのセラミックエンクロージャと、サンプルへのアクセスを容易にするためのトップローディング機能を備えています。処理チャンバは最大400Cの温度で動作可能で、最大1 Paの圧力を達成できます。最大電圧は3500 Vで、周波数範囲は5〜250 kHzです。このマシンには、100〜1000ワットの範囲の可変RFターゲット電源と6段階の電源も含まれています。1060にそれを多目的で、信頼できる用具にさせるさまざまな特徴があります。自動化されたターゲット回転モータを搭載し、複数のターゲットをスパッタリングするために複数の磁石を簡単に操作できるように構成できます。このツールには、PVDプロセスに必要な制御雰囲気を提供するためのガスボックスが内蔵されています。また、堆積チャンバーを汚染するサブミクロン粒子を検出および追跡するための粒子監視資産、処理中にサンプルを保持する静電チャック（ESC）、温度や圧力などのパラメータを測定および記録するための測定/制御装置が装備されています。CANON/ANELVA 1060は、DC電源用の自動シャットオフスイッチ、緊急停止ボタン、電流センサ安全遮断回路、および内蔵の緊急ガスシャットオフバルブなど、多くの安全機能を備えています。これらの安全対策は、潜在的な損傷からユーザーを保護し、モデルの機能を適切に確保するのに役立ちます。全体として、CANON 1060はパワフルで信頼性の高いスパッタリング装置であり、半導体加工のための基板上に薄層材料を作成する多目的かつ効率的な手段を提供します。精密な薄膜成膜と性能を可能にする多くの機能を備えており、内蔵の安全対策により、安全で使いやすいです。