中古 BOC EDWARDS AR #183019 を販売中

BOC EDWARDS ARは、研究および産業用途向けのハイテクで信頼性の高いスパッタリングソリューションを提供するユニークなスパッタリング装置です。ARはDCマグネトロンスパッタリングシステムで、DC電源から生成されたイオンを使用して基板上に薄膜を加速して堆積させることを意味します。イオン化された原子を利用することにより、BOC EDWARDS ARは複雑な薄膜を高精度にスパッタすることができます。ARスパッタリングユニットは、有機ポリマーや金属のスパッタリング、コーティングの真空蒸着など、幅広い研究および産業用途に使用されるように設計されています。その特徴は、薄膜堆積のための理想的なプラットフォームになります。パワフルな3kW DC電源を搭載し、高電流密度・高出力動作を可能にし、最大コーティング率を実現しています。柔軟性のため、BOC EDWARDS ARにはさまざまなマグネトロンターゲットがあり、幅広い材料をスパッタすることができます。さらに、ARは磁場変調も特徴であり、ターゲットから放出される反応種の極角を正確に制御することができます。これにより、基板上に均質でコンフォーマルコーティングが行われます。BOC EDWARDS ARの設計により、複数の構成に構成することもできます。スタンドアロンスパッタリングツールとして使用したり、基板、真空ポンプ、コントローラなどの他のコンポーネントと組み合わせて使用することができます。これにより、特定の堆積要件に合わせてARスパッタリングアセットを簡単にカスタマイズできます。BOC EDWARDS ARには、ユーザーが危険なレベルの放射線にさらされないようにするための多くの安全機能があります。スパッタリングプロセス中に発生する可能性のある危険な放射を吸収するように設計された完全に調整可能なシールドチャンバーが付属しています。さらに、内蔵の安全インターロックは、危険レベルの放射線が検出された場合に必要に応じてモデルをシャットダウンするように設計されています。これらはすべて、ARを信頼性が高く使いやすいスパッタリング装置にするために組み合わせられています。そのハイテクな機能により、精密薄膜成膜に最適なソリューションであり、コーティングプロセスを確実に制御できます。柔軟な構成により、カスタマイズされた堆積ソリューションに最適です。さらに、その安全機能は、ユーザーに安心を提供し、危険な放射線量が発生しないようにします。