中古 BALZERS Sprinter #96468 を販売中

BALZERS Sprinterは、蒸着およびエッチング用途向けに最先端のスパッタリング技術を提供するスパッタリング装置です。このシステムには、高性能スパッタリングソースと、正確なプロセスチューニングを可能にする高度なオートメーションパッケージが含まれています。このユニットは最大4つのターゲットを同時に処理することができ、1回の実行で複数の材料をスパッタすることができます。高精度のターゲットホルダーとショートサイクルシャッターメカニズムにより、蒸着プロセスが非常に反復可能で非常に高速であることを保証します。Sprinterには、ユーザーが独自のスパッタリングプロセスパラメータを設定できる統合スパッタリングコントロールモジュールが装備されています。このマシンは、ターゲットの予熱スキーム、スパッタリング速度、電力、圧力および真空レベル、各ターゲットの相対位置、およびプロセス監視パラメータなど、幅広いプログラマブル変数を提供します。BALZERS Sprinterは、高度な操作機能に加えて、さまざまな安全機能も提供しています。過剰な圧力、温度、放射線の状態での動作を防止する安全インターロックを内蔵して設計されています。また、スパッタリングターゲット面と加熱アセットの間に耐摩耗性材料を取り付け、過熱やスパッタリングソースへの損傷から保護します。Sprinterは、さまざまなアプリケーションに必要な正確なスパッタリングプロセスを実行するための理想的な選択肢です。これにより、ユーザーは精密な堆積プロセスのためにプロセスパラメータを最適化することができ、より一貫した正確で再現性のあるコーティングが可能になります。このモデルは、タングステン、アルミニウム、銅、およびステンレス鋼、ならびに標準的な誘電材料をエッチングすることができるため、ユーザーはスパッタリングプロセスの柔軟性と汎用性を高めることができます。さらに、BALZERS Sprinterは優れたプロセスモニタリングを可能にし、ユーザーは堆積とエッチングのプロセスを詳細に監視することができます。これらの機能はすべて、装置の安全機能と組み合わせて、Sprinterはスパッタリングおよびエッチング用途に最適です。