中古 BALZERS LSS 310 #9040205 を販売中

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BALZERS LSS 310
販売された
ID: 9040205
Sputtering systems.
BALZERS LSS 310は、ウェーハや金属を含むさまざまな基板上で高精度に金属化するために設計された最先端のスパッタ装置です。高速ポンプを備えた超高真空ベースと、高品質で再現性のある蒸着用の低電流密度プラズマ源を備えています。システムには、各チャンバーから3つのマグネトロンスパッタの6つのソースが装備されています。各チャンバーには、3つの専用ターゲットを備えたPVDソースと、高い片側カバレッジスパッタコーティングが含まれています。BALZERSは、正確な成膜のための自動チューニング機能を備えた基板位置決めユニット(SPS)を備えています。また、クローズドループ式活性ガス搬送機で設計されており、蒸着プロセスをより正確に制御することができます。さらに、アクティブな熱管理およびアクティブ温度再分配システムにより、広い温度範囲で効率的かつ一貫した蒸着が可能です。BALZERSツールには、レアアース磁石を使用した信頼性の高い機械設計も含まれており、長期安定した動作を実現します。LSS 310は、洗浄やエッチングなど、幅広い基板形状や加工要件に対応しています。硬質、薄膜、誘電層など様々なコーティングに最適です。高度なスパッタリングアセットとして、すべてのスパッタ蒸着パラメータを動的に制御し、制御されたターゲットとなる厚さレベルの安定した信頼性の高い蒸着を提供します。モデルはまた人間工学的および使いやすいように設計されています。完全自動化されたレシピベースの蒸着管理装置を備えており、効率的なプロセス制御が可能です。すべてのシステムが単一の多機能ディスプレイを介して相互接続されているため、障害やエラーを簡単に識別および修正できます。さらに、BALZERSシステムには、ユーザーのコンピュータに直接データを転送するためのいくつかのデジタル高度な通信ポートがあり、さらなる分析と研究が可能です。全体として、BALZERS LSS 310は高度で信頼性の高いスパッタリングユニットで、さまざまな金属および合金の正確で反復可能で均一な蒸着をユーザーに提供します。この機械の自動蒸着管理ツールは、ユーザー体験を簡素化し、高度なプロセス制御とアクティブ温度再分配システムにより、幅広い温度範囲で信頼性の高い再現性の高い蒸着を実現します。この資産は、生産および商用アプリケーションだけでなく、さまざまな研究ニーズに適しています。
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