中古 ANATECH / TECHNICS Hummer #9004968 を販売中

ANATECH/TECHNICS HUMMERは、最も要求の厳しい薄膜研究および成膜用途向けに設計されたスパッタリング装置です。このシステムは、特定のプロセスニーズに合わせてカスタマイズできるモジュラー構成のカスタマイズ可能なプラットフォームを提供します。このユニットには、統合スパッタリングソース、シングルソースホルダー、調整可能な基板ホルダー、クローズドループチャンバー/プロセスコントロールモニター、およびガスインレットマシンが含まれています。内蔵スパッタリングソースは、パルスDCソースに0〜300v DCの連続電源を供給するように設計されていますが、調整可能な基板ホルダーは、角度付きウェーハと基板のための特別な機能を備え、直径150mmまでの基板を移動する柔軟性を提供するように設計されています。クローズドループチャンバー制御モニタは、圧力、温度、スパッタリングパラメータなどのさまざまな条件で、クローズドループのリアルタイムプロセス制御と監視を可能にします。強力なスパッタリング源は、非常にエネルギッシュなグロー放電プラズマと最適なスパッタ収率を提供するように設計されています。スパッタリングソースは、フィルムの均一性の向上や高スループットなど、特定のプロセスニーズに合わせてカスタマイズできます。統合されたガスインレットツールは、追加のコンポーネントを必要とせずにガスを簡単に導入できるように設計されています。ANATECH HUMMERアセットは、汚染を引き起こす可能性のある内部コンポーネントの数を最小限に抑え、堅牢で信頼性の高いプロセスを保証するように設計されています。このモデルはまた、粒子の形成とスパッタの歩留まりを低減するように設計されています。装置には、調整可能な安全パラメータと診断警告システムがあり、スプレー抑制剤やその他の安全上の重要なシステムが常に稼働していることを確認します。TECHNICS HUMMERユニットは堅牢で信頼性の高いスパッタリングマシンで、ユーザーにプロセスとスパッタパラメータの柔軟性と制御を提供し、望ましい沈着結果を達成します。このツールには、統合されたスパッタリングソース、シングルソースホルダー、調整可能な基板ホルダー、クローズドループチャンバー/プロセスコントロールモニタ、およびガス入口資産が含まれており、特定のプロセス要件に合わせて調整することができます。統合された安全パラメータ、診断警告モデル、および調整可能なスパッターソースにより、最大の信頼性とユーザー満足度が保証されます。