中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #92235 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600は産業および研究の適用の両方で使用のために設計されている強力で、多目的なスパッタリング装置です。このシステムは、さまざまなスパッタ源を使用して、さまざまな基板上に超薄層を堆積することができます。このユニットには、標準マグネトロンエミッタ、フェムト秒レーザー誘導アブレーション源、静電プラズマ源など、最大8つの独立したスパッタリング源が装備されており、ユーザーは特定のニーズに合わせてプロセスを調整することができます。このマシンには、マルチフェイスるつぼスパッタソースが標準装備されており、フラッシュアニールユニット、蒸発源、コンパクトマルチチャンネルマグネトロンソースなど、さまざまなオプションが含まれています。このツールには、直径8インチまでの基板の自動ローディングとアンロードを提供するサンプル搬送アセットも内蔵しています。このモデルには、自動エンドポイントモニター、リアルタイム蒸着モニター、基板監視、サンプルチャンバーの環境制御など、生産のスピードアップに役立つさまざまな自動プロセスが装備されています。ADIXEN SCM 600は、サブNMの超薄膜蒸着レートと、接着問題を最小限に抑えた高精度で再現性のある厚さを実現します。また、モジュール性を考慮して設計されているため、ユーザーのアプリケーションニーズに合わせて機器を簡単に設定できます。このシステムには、圧力、温度、圧力モード、ガス、電力、ターゲットバイアスなど、ユーザーのアプリケーションに合わせて調整および調整できるさまざまなプロセスパラメータがあります。また、データ管理のための統合されたコンピュータコントロールインターフェイスと、プロセスの監視と最適化のためのリモートオンラインアクセスを備えた高度なデータ収集および制御マシンを備えています。ALCATEL SCM 600には、リモート操作と制御のためのグラフィカルユーザーインターフェイスと同様に、ツールを中央監視および制御ステーションに接続するためのイーサネットインターフェイスも含まれています。これにより、ユーザーは世界中のどこからでもスパッタリングプロセスを簡単に管理および制御できます。さらに、資産は、最適なパフォーマンスを確保し、潜在的な危険からユーザーを保護するために、さまざまな安全機能を備えています。これは、関連するすべての環境安全規制の遵守のために設計されています。また、PFEIFFER SCM 600は、ダウンタイムを最小限に抑え、最大限の可用性を実現するように設計されており、コンポーネントに障害が発生した場合にユーザーに警告する自動メンテナンス機能を備えています。全体として、SCM 600は強力で汎用性の高いスパッタリングモデルで、産業用および研究用に最適な多数の高度な機能を提供します。この装置は、優れた性能、再現性、ユーザーフレンドリーな機能を備えているため、スパッタリングアプリケーションにとって信頼性が高く効率的な選択肢です。