中古 AJA ATC Orion #9220942 を販売中

AJA ATC Orionは、材料科学とナノテクノロジーの研究開発のために設計された高性能スパッタリング装置です。このシステムは、金属、絶縁体、半導体など、さまざまな材料にコーティングすることができます。これは、ターゲット材料に関係なく、高品質で均一な薄膜を堆積するように設計された完全に自動化された2段階の平面マグネトロンスパッタリング構成を備えています。ATC Orionには2つの高性能真空チャンバーが装備されており、それぞれに独自のスパッタリング源とシャッターがあります。チャンバーのコンパクトな設計により、優れたポンプ速度と非常に低いベース圧力を実現します。デジタルチャンバーコントローラは、正確なプロセス監視と反復可能な結果を可能にします。このユニットは、最大200mm、重量15kgのさまざまな基板に対応するように設計されています。また、AJA ATC Orionは、チャンバーあたり最大4つのターゲットを備えた高度な共同スパッタリングアプリケーションを備えています。これにより、成分膜の精密な比率で多層膜を成膜することができ、接着、硬度、電気抵抗、光反射等のコーティング特性を最適化することができます。ATC Orionは、高度にカスタマイズ可能なコーティングパラメータの簡単なプログラミングを容易にする高度なソフトウェアを搭載しており、ユーザーは特定の要件に合わせた新しいプロセスを迅速に作成できます。プロセス情報へのアクセスと監視が容易であるため、高度なデータ分析ツールを使用して迅速な最適化が可能です。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、材料選択から基板位置決めまで、スパッタリングプロセスのすべての側面を正確に制御できます。圧力インターロックや真空モニタリングなどの安全機能は、さらなる保護層を提供します。結論として、AJA ATC Orionは、幅広い用途に精密な薄膜成膜が可能な高度なスパッタリングツールです。その2つのチャンバーは、高品質で均一な多層膜の堆積を可能にし、その高度なソフトウェアは、効率的なプロセスプログラミングと最適化を可能にします。コンパクトなデザインと直感的なユーザーインターフェースにより、材料科学とナノテクノロジーの研究開発に最適なツールです。