中古 AIRCO TEMESCAL BJD-1800 #9212518 を販売中
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販売された
ID: 9212518
ヴィンテージ: 2009
Sputter system
(3) Cathodes:
(2) Cathodes: Configured for RF MAGNETRON co-sputtering
Cathode: Configured for DC MAGNETRON sputtering
Load lock consists:
Gate valve
Adapter flange
Motorized linear motion assembly
Diameter stainless steel process chamber, 18”
Lower source tray swings out for maintenance
Rotating substrate table:
Diameter: 7.5”
RF Biasing capability: 300-Watt
Rotate: 5 RPM-100 RPM
Process chamber:
Fully shielded and shielding is flame sprayed
Pumped with ALCATEL 5900 Turbo molecular pump (880 l/s)
Servo motor controlled throttle valve
(3) ANGSTROM SCIENCES MAGNETRON Cathodes: 2” Diameter
Independent shutter system
ADVANCED ENERGY MDX DC Sputtering power supply: 1kW
(2) ADVANCED ENERGY 600 Watt RF Generators
Automatic impedance matching networks for magnetron cathode sputtering
ADVANCED ENERGY 300 Watt RF Generator
Automatic impedance matching networks for biasing substrate
(3) MFC (Mass flow controls)
Process gas plumbing: UHP Stainless steel
VCR Fittings throughout
Electro-polished
Orbitally welded
Fully leak tested
Full-scale capacitance manometer: 1 Torr
Automatic isolation valve to prevent venting of manometer
LEYBOLD D-30 20.9 CFM Mechanical pump
System base pressure: Better than 1x10-7 torr
Materials: Ti, Cr, W, Ge, Si, Fe, MoS2, ITO, Ag, Nb, Cu, SiN, TiN, Al
Documentation
2009 vintage.
AIRCO TEMESCAL BJD-1800蒸発器は、商業および産業用途における大気品質および温度規制を改善するように設計された効率的で高性能な装置です。この蒸発器は、3段階のプロセスを利用して、正確な温度、湿度、室内の空気品質管理を提供し、電力入力と運用コストを削減します。新鮮な空気と排水の空気の組み合わせを使用して、蒸化器はまず、それが加熱された自己完結型エンクロージャに空気を引き込み、次に熱交換器セクションに引き込まれます。ここで、加熱された空気は、蒸化器の中で冷却プロセスを経る前に、ガスまたは電気発熱体によってさらに加熱されます。この冷却された空気は、その後、内部環境に戻されます。AIRCO TEMESCAL BJD 1800の蒸発器プロセスの最終段階は、ファンと高効率の冷却コイルを使用して温度をさらに低減します。ファンは冷却コイルにさらに冷たい空気を引き込み、そこでは高熱エネルギーが冷却された空気から取り除かれ、その後外に排出されます。BJD-1800の堅牢な設計と建設により、1時間あたり最低15〜20の空気変化を保証し、一日を通して一貫した室内空気品質を提供します。また、BJD 1800のリムーバブルアクセスパネルと、高価な労働ダウンタイムとコストのかかる設置の必要性を取り除く自己完結型の冷媒配管システムにより、運用効率が向上します。TEMESCAL AIRCO TEMESCAL BJD-1800蒸発器は、エネルギー効率の高いコンポーネントを使用して、電力消費と運用コストを削減します。これにより、従来の冷却システムに代わる経済的な代替を求める商業、産業、製造業にとって魅力的な選択肢となります。堅牢な構造と高度な機能を備えたAIRCO TEMESCAL BJD 1800蒸発器は、広範囲の屋内環境での空気品質と温度調節を改善するための理想的なソリューションです。
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