中古 VARIAN E1000 #158481 を販売中

VARIAN E1000は、高度なイオンインプランターとイオンモニターです。イオン注入システムのメーカーであるVARIAN Semiconductor Equipment Associates、 Inc。によって開発されました。VARIAN E-1000は、高精度の単軸モータコントローラと冷間モータースピンドルを使用して、着床電力と精度を駆動します。モータコントローラとモータースピンドルの組み合わせにより、線量率とピーク電圧を連続的に制御できます。E 1000は、高度な診断センサーを使用してピーク電圧精度を確保し、潜在的なアークやその他の電気的エラーを検出します。このようなエラーは、イオン注入プロセスで使用されるウェーハまたはフィルムに大きな損傷を与える可能性があります。センサーはまた、加速器とレンジロックの充電転送を監視します。これにより、アクセラレータを最大限に活用することができます。また、E-1000はビームアライメントのための精密な重み付けフィードバックループを利用しており、正確な埋め込みが可能です。E1000はペントードイオン源も備えています。ソースは、強力な安定性と再現性を備えた高強度のマイナスイオンビームを生成します。これにより、イオンの均一な注入が保証されます。ハイパーファインビームセレクターも付属しており、ウエハーが多すぎるイオンで爆撃されるのを防ぎます。VARIAN E 1000は、高い信頼性と効率性、高い生産率、ショットあたりの低コスト、およびアプリケーションの汎用性を備えています。イオンインプランターは、異なるタイプの基板を処理するように構成することができ、自動化された装置は、異なる層のフィルムや基板に対応するように変更することができます。さらに、アプリケーションの柔軟性は、従来のシングルステージアプリケーションに比べて大幅に時間とコストを節約できます。VARIAN E1000は、高度な制御システムも備えています。このユニットには、ワークステーションコンピュータと統合されたソフトウェアが含まれており、簡単にカスタマイズできるだけでなく、リアルタイムの監視と制御も可能です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、便利な操作を可能にし、統合されたソフトウェアは、データ収集の容易さを可能にします。全体として、VARIAN E-1000は高度で信頼性の高いイオンインプランターとイオンモニターです。精密に開発されたハードウェアとソフトウェアは、イオン注入のための信頼性の高い効率的なソリューションを提供します。統合された制御機械は操作を簡単、有効にします、滑らかな、一貫した操作を可能にします。