中古 VARIAN E1000 #158184 を販売中

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ID: 158184
Implanter chamber control rack Components: § Varian Plasma Flood and Bias Supply § Kollmorgen DC Brushless Amplifier BDS3-230/55-28-220 § Kollmorgen Power Supply PSR3-230/50-07-003 § (3) Infranor Resolver SMTBS § Varian 112729001 § Varian 113136001 § Mavilor Motors SE0718-07057 § MKS Baratron 122AA-00010DB § Brooks 5850E Mass Flow Controller 9408HC034101 Top works for the gate valves not included As is.
VARIAN E1000は、半導体デバイスの製造において超高純度、精密かつ一貫したドーパントプロファイルを生成するために使用される完全なイオン注入および監視装置です。VARIAN E-1000システムは、今日のますます複雑化する製造プロセスをサポートするために、イオン注入プロファイルを開発、選択、および最適化する包括的な柔軟性を提供します。高度なビームライン電源とソース技術と強力な制御ユニットと高解像度の製品フィードバックを組み合わせています。E 1000の強化されたビームライン電源とソース構成により、高いビーム電流と粒子の均一性で高速性能を実現します。プログラム可能な高電圧電源とオートカリブレーションにより、優れたプロセス制御と再現性が保証されます。ビームラインマッピング技術は、正確で再現可能なビーム精度を保証するために角度分布を考慮します。高解像度イオンビームプロファイリングセンサーにより、インプラントのプロファイルを正確に監視してプロセスを最適化できます。E1000の包括的な制御マシンは、自動化と効率的なデータ処理機能を提供し、簡単なプロセス開発、セットアップ、最適化を可能にします。VARIAN E 1000は、リアルタイム制御ツールを使用して、ビームモジュレーション、ビームアーチ、およびその他の適応型の動的制御機能を実行し、ビームパフォーマンスを最適化します。さらに、E-1000の高度な多重化機能により、様々な種の同時注入が可能となり、均一な用量とエネルギーが得られます。VARIAN E1000の高解像度製品フィードバックは、信頼性の高い一貫した製品品質を保証します。高解像度の製品フィードバックシステムは、インプラントのプロファイルの問題やその他のパラメータを特定するのに役立ちます。さらに、VARIAN E-1000の高度なプロセスモニタリングソフトウェアにより、オペレータはビームプロセスの問題をリアルタイムで監視、診断、トラブルシューティングすることができ、プロセスの最適化と稼働時間の向上を可能にします。E 1000は柔軟で正確で信頼性の高いイオン注入用に設計されています。堅牢な機能セット、統合制御資産、高解像度の製品フィードバックが組み合わされ、最も要求の厳しいアプリケーションに優れたスループット、再現性、製品品質を提供します。
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