中古 KLA / TENCOR 2135 / 2138 #129087 を販売中

KLA/TENCOR 2135/2138は、集積回路（IC）の欠陥を識別するために設計されたマスク&ウエハ検査装置です。最先端の光学システムと画像処理機能により、ウェーハやマスクを高解像度で検査できます。その高感度CCDカメラは、欠陥を迅速かつ正確に検出するためにパターン要素を検出し、測定することができます。KLA 2135/2138は、エッジの特徴、線幅、ゲート/接触パターン、フィーチャー、間隔、ノッチ、およびその他の欠陥を検出できます。アルファピッチ、レイヤーのアライメント、オーバーレイ量、寸法公差を測定することもできます。さらに、このマシンは、カスタムオートメーションのためにAPI（アプリケーションプログラミングインターフェイス）を使用して、欠陥を迅速かつ完全に評価する機能を備えています。TENCOR 2135/2138には、高度な7軸ステージを備えた完全統合計測ツールがあり、アセットはサンプルの任意の領域に可変速度でアクセスできます。2135/2138の機能には、高速検査、高精度、高感度、および高い信頼性が含まれます。さらに、このモデルは、欠陥の自動画像取得と分析、欠陥のレビューと分類を実行することができます。機器のソフトウェアは、単層、フラットベッド、マルチレイヤー、およびOCR（光学文字認識）を含む複数の動作モードをサポートしています。このシステムには、拡張およびエッジオプション、計測およびオーバーレイ機能、高度な欠陥分類および複雑性解析、およびオプションのインターフェイスパッケージなど、特定のアプリケーションのニーズに対応するさまざまなオプションもあります。全体として、KLA/TENCOR 2135/2138は、ICの欠陥を識別するために設計された包括的なマスク&ウェーハ検査ユニットです。高精度・高感度で高度かつ可変速度の動作を実現した高解像度イメージングマシンです。また、さまざまなソフトウェア機能が付属しているため、ユーザーは特定のアプリケーションに合わせてツールをカスタマイズできます。