中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #140297 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HEは、最高レベルの生産性とシステム稼働時間を持つ半導体デバイスの精密埋め込みを提供するように設計されたコンピュータ制御イオンインプラントおよびモニター装置です。インプラント収率を最大化し、最も効率的なインプラント工程を達成するために設計された高度な技術を提供しています。AXCELIS NV GSD HEは、イオンソースドライバ、ビーム電流モニタ、ガスパネル、プロセス制御ユニットなど、いくつかのモジュールで構成されています。本機は、AXCELIS High Current/High Energy （HC/HE）またはEATON NOVA Low Current/High Energy （LC/HE） Platformと組み合わせて使用するように設計されています。イオンソースドライバはツールの中心であり、ビーム電流を正確に制御し、正確で安定した着床プロセスを提供します。これにより、正確な再現性と低レベルのインプラント収率が可能になります。ビーム電流モニターは、正確なビーム電流モニタリングを提供しながら、最高レベルの安定性と信頼性を保証します。注入プロセスの結果を監視することにより、それは精度と再現性の最大レベルを可能にします。ガスパネルは、ガスの流れを正確に制御することができ、移植の最適化を可能にします。プロセスコントロールアセットは、インプラントを迅速かつ正確に制御し、詳細なデータの記録と制御を可能にします。EATON NOVA NV-GSD HEは、オペレータがあらゆるデバイス障害の発生源を迅速にトラブルシューティングできる統合故障解析システムや、移植プロセスを正確に制御できる高度なソフトウェアツールなどの高度な機能を提供します。洗練された診断機能により、発生する問題を迅速かつ効率的に解決することができます。全体として、EATON NOVA NV-GSD-HEは、正確で信頼性が高く再現性のある埋め込みプロセスを提供し、正確で正確なデバイス製造歩留まりを達成するための重要な要素です。高度な機能と信頼性と効率的な動作を提供し、あらゆる半導体装置のセットアップに不可欠な要素となっています。