中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Titan I #185104 を販売中

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ID: 185104
Carriers Part Numbers: 72B 73B 51A 53B 66B.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Titan Iは、高度な半導体アプリケーション向けに特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング&ポリッシング(WGLP)装置です。このシステムは、高精度のウェーハハンドリングステーション、改良されたウェーハサポートユニット、高度な研削とラッピング技術、および完全に自動化された中央油冷却機を備えています。また、超精密加工型スピンドルを採用し、精密な研磨結果を実現しています。高精度のウェーハハンドリングステーションには、1時間あたり最大200個のウェーハを効率的に処理する堅牢で人間工学に基づいたローディングアンローディングセクションが含まれています。また、高度なウエハコントローラとバーコードリーダーを備えており、スムーズな動作を実現しています。改良されたウェーハサポートアセットは、内部の高解像度精密ホルダーを使用して、各ウェーハがウェーハ研磨ラッピング研磨領域全体にわたって安全かつ均等に分布することを保証します。高度な研削技術により、AMAT Mirra Titan Iは高精度のプロセス成果を達成できます。このモデルのミル型スピンドルは、高度な半導体加工のために特別に設計されており、正確な研削とバリ取りの結果を提供します。また、この装置には自動化された中央油冷システムが組み込まれており、プロセス中に一定の冷却温度を提供し、再現性を向上させます。十分に自動化された単位は構成し、作動すること容易です。ユーザーフレンドリーなInTouchタッチスクリーンディスプレイからプロセスパラメータを簡単に制御できます。また、オートキャリブレーションやオートチューニングテクノロジーなどの高度な技術を活用して、素早い積み下ろしとプロセス精度の向上を実現しています。さらに、このツールは、緊急停止スイッチ、近接センサー、資産またはプロセスに障害が発生した場合にプロセスを停止または逆転させるフェイルセーフ制御など、多くの安全機能を提供します。アプライドマテリアルズMirra Titan Iは、突然の停電や変動から機器を保護するために設計された過負荷保護モデルも備えています。全体として、Mirra Titan Iは高度な半導体アプリケーション向けに設計された高度で高精度なシステムです。このユニットは、さまざまな優れた機能と技術を提供し、使いやすく構成が簡単で、半導体製造プロセスに非常に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。
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