中古 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT / VARIAN E11031424 #9229243 を販売中

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AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT / VARIAN E11031424
販売された
ID: 9229243
ウェーハサイズ: 8"
E-Clamp ESC platen assy white, 8".
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT/VARIAN E11031424は、高度な半導体加工アプリケーション向けに設計された最先端のイオン注入装置です。強力なイオンソース、高精度ビームライン制御、包括的なプロセスモニタリング機能を組み合わせて、高度なデバイス製造アプローチをサポートします。HP E11031424は、制御を強化するための無線周波数(RF)バイアス付きの30kWイオン源を備えています。システムはビーム形成ビーム光学を制御するための作り付けのインターフェイスが装備されています。これは、埋め込まれたイオンの最適な用量がターゲット基板に配信されることを保証します。さらに、リアルタイムスキャンユニットは、精密で微調整されたビーム制御を提供し、正確なインプラント機能を提供します。VARIAN E11031424には、詳細なプロセス監視を可能にするデジタルビームモニタリングマシンも組み込まれています。これにより、埋め込みパラメータのわずかな偏差を検出することができます。アセットには、後で分析するためのインプラント・データを格納する強力なデータ収集およびロギング機能もあります。さらに、このモデルはビーム特性評価に使用でき、プロセスの最適化を可能にします。また、オペレータの安全と保護のための堅牢でオープンループのインターロックシステムも備えています。これにより、事前に設定された安全パラメータを自動的に監視および強制することができます。また、アラームや警告イベントへの迅速な対応を可能にし、運用の安全性と生産性を確保します。ユニットはまた、追加の安全層を備えており、必要な情報が可聴および視覚アラームの形でオペレータに提供されることを保証します。全体的に、KEYSIGHT E11031424は強力で信頼性の高いイオンインプランターとモニターです。これは、高度なデバイスの製造を可能にし、オペレータの安全性を確保するための包括的な機能の配列を提供しています。HEWLETT-PACKARD E11031424は、優れた機能と機能を備えており、先進的な半導体加工アプリケーションに最適です。
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