中古 HITACHI S-9200SA #165834 を販売中
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ID: 165834
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2000
CD SEM system, 8"
Workstation:
Model : B2600
O/S :HPUX
Software Version : 18.35ev15
IP Read : 5.4~16.1pA(Low mode)
CD measurement principle: Cursor and line profile measurement
CD measurement range: 0.1 to 2.0 um
Secondary electron image resolution: 3nm
Image magnification: SEM image; 500 x 300,000
Optical microscope image; about x110
Specimen stage:
Movement range X and Y: 0-200mm
Stage drive: Pulse motor
Control and speed: max. speed 100mm/s
Wafer loader:
Wafer transfer from cassette to loader chamber: Auto transfer via wafer transfer robot
Wafer transfer from loader chamber to stage: Auto evacuation and auto loading
Wafer transfer robot system: random access using (2) cassettes
Wafer detection in cassette: Auto detection via wafer searcher
Chucking method: Vacuum chucking on back of wafer
Orientation flat/ V notch detection: non-contact auto detection via optical sensor
Electron Optics: Schottky emission type
Accelerating voltage: 500 to 1600V
Lens system: Electromagnetic condenser lens system, booster objective lens
Secondary electron detection: Scintillator/ photomultiplier detection system
Objective lens aperture: Heating type movable aperture
Scanning coil: 2-stage electromagnetic type (X, Y axes)
Probe current monitoring: Faraday cup incorporated, with automatic measurement function
Optical microscope: 1.2 mm square visual field, monochrome image
Control and display system:
Viewing control CRT: 21 type monitor
Scanning modes: TV scan, HR scan, SLOW scan
Image processing: Software processing using filtering
Saftey device: Equipped with emergency off switch
CD measurement data processing system:
File storage
Storage media: Hard disk (2GB), 3.5 type magneto-optic disk, 3.5 floppy disk
Data processing function: statistics scanning using worksheet system
Printout: 80-character thermal printer
Evacuation system:
Evacuation principle: Full automatic dry & clean evacuation
Vacuum pumps: (3) Ion pump, (2) turbo molecular pump, (2) oil rotary pump
Safety devices
N2 Gas source (for leak):
Gas pressure: 200 to 660 kPa
Outside Diameter of connecting tube: 6um
Compressed air source (for valve drive)
Air pressure: 600 to 880 kPa
Outside diameter of connecting tube: 6mm
Vacuum source (for auto loader)
Vacuum pressure: P= 1.3 to 21.3 kPa
Outside diameter of connecting tube: 6mm.
VIPS and Cognex are missing
Currently warehoused
2000 vintage.
HITACHI S-9200SA走査型電子顕微鏡は、高度な科学的および産業的要求に対応する高性能ツールです。高度なスキャンおよび検出技術により、優れた画像解像度、柔軟性、使いやすさを提供します。大容量チャンバーと高分解能の防振システムにより、安定した環境と優れた画像透明性を実現し、幅広い自動運転により効率的でユーザーフレンドリーな操作を実現します。S-9200SAは、高速超高分解能PCO（適切な複合光学系）とスキャンプローブシステムを備えており、多様なサンプルサイズと形状に対応するために、簡単に変更でき、最大160 mmの長距離を提供できます。この機能は非標準サンプルに最適です。PCOは、マルチチルトおよび回転サンプル調製とともに、最適な画像透明性を実現します。このスキャンシステムは、超高真空（UHV）カラムとサンプル回転段の統合により、優れた画像解像度とコントラストを提供します。また、自動サンプルステージムーブメントと詳細な分析のための6軸サンプルマニピュレータを備えています。サンプルステージの高い線形精度は、ミドルサイズおよび小型サンプル部品を正確に測定するのにも有利です。この顕微鏡には、二次電子や後方散乱電子検出器からEDX元素解析（EDX）、 X線マイクロアナリシス（XRM）、カソドルミネッセンスまで、さまざまな検出器や信号プロセッサが搭載されています。また、3D深度解析、自動化されたピクセル相関技術、ラインスキャンモードやZスライシングなどのさまざまな統合機能を備えた高度なデジタルイメージングを備えています。これにより、信頼性の高いデータ取得と分析、および結果への容易なアクセスが保証されます。HITACHI S-9200SAは、低雑音の背景と高い信号対雑音比で優れた画質を提供します。これにより、ナノサーフェシング、半導体産業、エレクトロニクス、マテリアルサイエンス、ナノテクノロジーなど、要求の厳しいライフサイエンスや産業用途で顕微鏡を使用することができます。全体的S-9200SAは、優れたイメージング分解能と洗練されたサンプルのための汎用性の高いオプションを組み合わせたハイエンドスキャン電子顕微鏡であり、複雑な分析と研究を可能にします。自動化された操作の範囲、洗練された検出器およびプロセッサ、およびその3D深度分析機能は、産業および学術研究プロジェクトの両方にとって理想的なツールです。
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