中古 HITACHI S-806 #9281005 を販売中
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ID: 9281005
Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
Resolution:
6 mm (60Å) - 25KV
20 nm(200Å) - 1KV
Mag: 50x ~ 100,000x
Specimen stage:
Movement range: X and Y O to150 mm
Stage drive: Pulse motor
Control: Joystick control (Auto eucentric)
Z (WD): 5 ~ 35 mm
Rotation: 360°
Tilt: 0 ~ 60
Wafer loader:
Manual loading (Holder, 6")
Electron optics
Electron gun: Cold field emission type
Accelerating voltage: 0.5 ~ 5 kV (0.1kV step)
5 ~ 25 kV (kV step)
Extract voltage: 0 ~ 6.3 kV
Lens system:
Electromagnetic condenser lens systems
FCM Objective
Secondary electron detection: 2-Stages detection system
Objective lens aperture: Heating type movable aperture
4 Openings selectable
Outside column (Fine adjustment)
Scanning coll: 2-Stages deflection
Stigmator coil: (8) Poles electromagnetic type (X,Y)
Control and display system:
Scanning modes
Safety
Device CRT
Ion coater and pumps
Damaged parts:
Broken sample secondary electron image, 6"
Broken sample-holder.
HITACHI S-806は、優れたイメージング性能と精度測定を実現するために設計された高性能スキャン電子顕微鏡(SEM)です。フィールドエミッションガン(FEG)電子源を備え、超低ビーム電流と線量率を備えた高輝度シングルビーム照明を提供し、優れたイメージングと低ノイズ性能を実現します。また、電子デジタルイメージング、液体窒素冷却スキャンイメージプロセッサ(SIP)、環境温度に関係なく一貫した性能を提供する日立独自の装置温度制御(DTC)システムを用いて、精密な計測・運用を可能にするS806です。S 806のFEG電子源には新開発の電子柱が組み込まれており、ビームアライメントとスポットサイズに対する優れた安定性と制御を提供するように設計されています。電子加速電圧の範囲を生成することができます。、広範なアプリケーションのための3-100kVに至るまで。S806は、ビーム電流を最小限に抑え、高解像度ADCと低ノイズプリアンプの両方を使用して、優れた低ノイズ画像を提供します。S-806はまた遠隔ドライブ段階と制御することができる大きい作動距離の対物レンズを通して高精度および決断を提供します。X-Yステージは高速シリアルスキャンが可能で、チップとチルト調整用のデュアルステージドライブシステムを備えています。高度なSIPは、優れた解像度とコントラストノイズ比でデジタル化された画像を生成し、DTCは画質を向上させて高速な画像入力を保証します。HITACHI S 806は、コンピュータ制御操作、リアルタイム画像解析機能、X-Yエリアイメージディスプレイ機能など、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を備えています。また、人間工学に基づいたデザインを採用した日立S-806では、オペレータの快適性を向上させるために、操作パネルと画像処理セクションをさらに離れて配置しています。さらに、マルチユーザーの操作や計測・解析ツールの選択が可能なソフトウェアも充実しており、当社S806理化学研究所にとって優れた選択肢となっています。
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