中古 ULVAC IBS #9062038 を販売中

ULVAC IBSは、イオンビーム品質を向上させた低圧高密度イオンビーム源の一種で、最適化された磁気絶縁イオン光学機器を備えています。IBSは、UHVスパッタリング、イオンインプラント、SIMS、 EBISなどの幅広いイオンビーム用途向けに設計されており、独自の磁場構成を使用してイオン軌道を制御および操縦しています。ULVAC IBSの中心は2つの主要な部品から成っています。1つ目は、スラスタガン、液体金属イオン源、蛍光体スクリーンを収容するイオン源チャンバーです。スラスターガンは、高エネルギー電子で材料を爆撃してイオンを生成する一方、液体金属イオン源（LMIS）は、低エネルギー拡散で安定した均一なイオンビームを生成します。LMISは低粘度液体ガリウムインジウム合金を使用してイオンストリームを生成し、蛍光スクリーンによって抑制されて所望のビーム電流を生成します。IBSの2番目の部分はイオン光学系です。この単位はイオンビームを制御し、形作るために3D分野を作成する複数の異なった磁石から成っています。これらの磁石は、3つのトリムコイル、ソレノイド、電子抑制コイルの組み合わせであり、すべてが協力して安定したイオン経路を作り、ビームを標本に集中させます。イオン源とイオン光学機器の組み合わせにより、高品質で安定したイオンビームが保証されます。また、ミリアンペア/cm2範囲の高電流密度イオンビームも可能で、高イオン電流アプリケーションに最適です。磁場はまたイオンビームの効率を高め、球状とほぼ等方性の放出のような異なったビーム特性を作成するために調節することができます。ULVAC IBSは、イオンソースチャンバーの効率的なポンピング、操作制御ツールの改良、高度な診断機能も備えています。これらのすべての機能を組み合わせることで、IBSは最も信頼性が高く、堅牢なイオンビーム源の1つになります。このデバイスは、最も要求の厳しいアプリケーションの厳しさに耐えることができ、さまざまな産業および研究アプリケーションでの使用に適しています。