中古 ULVAC Entron T5 #9011097 を販売中

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ULVAC Entron T5
販売された
ID: 9011097
Physical vapor deposition system.
ULVAC Entron T5は、薄膜の効率的な成膜のために設計された堅牢で効率的なRFスパッタリング装置です。これは、システムの生産性、寿命、パフォーマンスを向上させるのに役立ちます。Entron T5は、5.7kW電源を備えたコンパクトな構成と、5軸モーションコントロール機能を備えたラウンドフィードトップフィードデザインを備えており、異なる材料の正確で迅速かつ反復可能な蒸着を可能にします。単位は最高の精密および高い発電RFのスパッタリングのために設計されています。オートチューニングとトルクコントロールにより高速起動を制御し、パワーと均一性を正確に制御するドリフトを内蔵しています。このRFのスパッタリング機械は600リットル/分までの真空ポンプ速度の4つのプロセス部屋まで装備されています。このツールは、基板のローディングとアンロードにも柔軟性を提供します。プログラム可能なプロセスレシピと8バンド低損失フィルタリングを備えたガス制御モジュールを備えています。ULVAC Entron T5は、半導体、LED、太陽電池、光電子産業での使用に最適です。また、様々な素材の加工のためのマスクの調製や薄膜成膜にも使用できます。Entron T5は、再現性と正確な蒸着のために設計された信頼性の高い堅牢な資産であり、幅広いプロセス能力を誇っています。さらに、リアルタイムで結果を監視するためのマルチトラックディスプレイを備えており、プロセスレシピの監視、エラーの診断、操作の制御のための高度なソフトウェアが付属しています。最後に、ULVAC Entron T5にはソフトキーボードコントロールパッドと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスがあり、ユーザーがプロセスに簡単にアクセスして管理するのに役立ちます。
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