中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9054881 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
販売された
ID: 9054881
ウェーハサイズ: 5"
PCVD SiN System, 5" (2) Chambers Gases: CF4, O2, SiH4, NH3, N2 Currently warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、プラズマエッチング、スパッタリング、堆積などの複雑なプロセス用に設計された高性能リアクターです。幅広い機能と機能を提供し、ユーザーは小さな機能サイズの複雑な構造や機能を作成し、高い精度と制御でさまざまな実験を行うことができます。AMAT P-5000リアクターは、異なるサイズの領域を同じチャンバー内で処理することができ、非均一性を排除する平行プレートシステムに基づいています。リアクターの構成は、表面全体にわたって最適なエッチング速度と均一性を保証します。ユーザーのニーズに応じてカスタマイズ可能な寸法で、最大300mmのサンプルを取り扱うことができます。APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、高出力電源を備えており、多層材料のエッチングと蒸着を可能にします。ソースは最大5000ワットの電力を供給でき、高スループットのプロセスを可能にします。原子炉自体の設計は非常に良好な温度均一性と空間均一性を提供し、堆積プロセスに最適です。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000原子炉には、さまざまなセンシング、監視、制御機能が装備されています。これらの機能により、オペレータは圧力、温度、VDF分布、およびICPガスの濃度などの他のパラメータを監視し、プロセスをリアルタイムで制御および調整することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、幅広いユーザーニーズと実験要件を満たす非常に汎用性の高い包括的な原子炉です。その高精度とパフォーマンスは、実験を最大限に制御したいユーザーに最適であり、高スループットのアプリケーションに適しています。
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