中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159341 を販売中

ID: 159341
Frame, as pictured Missing parts Stored in a cleanroom.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、薄膜蒸着プロセスで使用される蒸着炉の一種です。アルゴンや窒素など、さまざまな種類のガスを持つ複数の源を利用して、基板上に堆積する薄膜層を形成します。装置に可変的な温度の部屋があり、基質を750°Cまでの温度まで加熱することを可能にします。また、薄膜蒸着プロセスを測定する水晶モニターも内蔵しています。AMAT P-5000は、様々な材料の酸化物、窒化物、金属などの薄膜層を生成するために使用できるため、さまざまな用途に役立ちます。これは、サブミクロンから数百ナノメートルの厚さまでの薄膜を作成するために使用することができます。応用材料P 5000はまたユーザーが高い均等性および質のフィルムを得ることを可能にする沈殿プロセスの精密な制御を可能にします。このシステムは最大4つのソースに対応でき、各ソースはさまざまなタイプのガスを提供することができます。アプライドマテリアルズP5000、コンピュータのピンポイント制御により、各ソースから流れるガスを調整し、成膜プロセスを監視することができます。材料は抵抗装置を使用して加熱することができ、基板の温度を微調整することができます。このユニットはまた、漏れや熱暴走を検出できる自動サンプリングマシンなど、さまざまな安全機能を提供します。また、停電または緊急停止の場合に保護を提供するように設計されているデュアル電磁インターロックを提供しています。さらに、プロセスの安全な動作を保証するように設計されたさまざまなアラームとシャットダウンシステムも備えています。全体として、AMAT P 5000は様々な基板上に薄膜を生成するための理想的な蒸着炉です。安全対策から正確な温度制御まで、さまざまな機能を備えているため、さまざまな商用および産業用アプリケーションにとって非常に貴重なツールです。
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