中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #293665721 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821は、スパッタリングおよび化学蒸着（CVD）プロセス用に設計された高性能リアクタです。直径6インチのチャンバーと、3相の入力で28kWの変圧器を搭載した垂直装置です。AMAT AMC 7821には、オンボードターボポンプと効率的なポンピングシステムがあり、ユーザーが設定した処理圧力を迅速に達成します。また、作動中にチャンバー内の圧力を監視するための水晶圧力センサーを備えています。これにより、所望のプロセス条件が一貫して達成されます。さらに、リアクターには円柱上柱、円柱下柱、ポリエチレンフィルム窓があります。また、ターゲット基板の両側からスパッタリングを可能にするオープンエンドターゲットも備えています。応用材料AMC 7821は急速な温度の上昇を提供し、機能を冷却し、800°Cまでの温度で処理することを可能にします。それに部屋の温度を監視し、温度が望ましいレベルで維持されることを保障する統合された温度調節器があります。原子炉には、2つの入口と2つの出口を備えたコンピュータ制御ガスユニットが装備されています。これにより、ユーザーは1 SCCM（標準立方センチメートル/分）以内にリアクタントの流れを制御することができます。AMC 7821は、幅広いサイズとオプションで提供されています。これは、スタンドアロンのマシンとして使用するか、既存のプロセスラインに統合することができます。リアクターは、金属、セラミックス、シリコンウェーハなど、さまざまな基板にもカスタマイズできます。導体、半導体、磁性材料、誘電材料、窒化物など幅広い材料の加工が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821は、薄膜蒸着、太陽光発電技術、MEMS、ナノテクノロジーなどの困難な用途において、信頼性の高い長寿命性を求めるお客様に最適です。信頼性が高く、メンテナンスが容易で、迅速かつ効率的に仕事を遂行できるように専門的に設計されています。