中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9069030 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811は、窒化ケイ素、ポリシリコン、酸化ケイ素、タングステンなどの高純度薄膜の製造用に設計された低圧化学蒸着（LPCVD）原子炉です。原子炉室はステンレス鋼で構成されており、プロセス用途に応じて最大1050°Cの動作が可能です。AMAT AMC 7811は、1。2から7。6立方フィートまでの内部ボリュームで、最大5つの100mm基板、4つの150mm基板または2つの200mm基板に対応できます。リアクターには強力なウェーハ搬送装置が装備されており、素早く正確に基板を装置を通過させることができます。トランスポータは最大10kHzの周波数で動作し、迅速な反応時間を提供します。ウェハトランスポートは、周波数変調RFジェネレータを使用して正確な基板位置決めを行うように設計されています。APPLIED MATERIALS AMC-7811は、温度、チャンバー圧力、流量、湿度などの重要なプロセスパラメータを監視および制御できる最先端のプロセス制御システムも備えています。さらに、このユニットはガス純度とウェーハの均一性のための高度な診断機能を提供します。これらの機能により、基板ごとにプロセスの再現性が確保され、膜厚や構造が均一になります。AMC 7811は、効率的で高品質の生産プロセスを提供することにより、製造業者の厳しい要件を満たすように設計されています。それは± 1％よりよい均等性の温度および圧力の広い範囲に均等性そして再現性を、提供します。さらに、この機械は10nmの沈殿速度と、毎秒最大40アングストロームの沈殿速度を生成することができます。AMATのAMC-7811炉は研究および生産の条件のための密集した、信頼できる用具を提供します。薄いレイヤーの生産に最適で、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して簡単なメンテナンスとサービスを可能にします。さらに、アセットは、ユーザーが望むようにさらにカスタマイズするために、AMATスイートのプロセスモジュールと完全に互換性があります。