中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #293665719 を販売中

AMAT APPLIED MATERIALS 7800 RPXは、半導体デバイス製造用に特別に設計された次世代の8インチ基板処理炉です。AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPXは、マイクロファブリケーションと高度なパターニングで高性能を提供し、設置面積とコストを削減します。AMAT 7800 RPXは、低エネルギーバッチおよび動的チャンバプロセスに最適化された耐久性のある高性能な設計を特徴としています。堅牢な構造により、半導体プロセスが再現性、制御性、および高精度であることを保証します。リアクターの効率は、工業用グレードの半導体製品の製造に必要な大量のウェハ生産に容易に対処できることを保証します。調節可能な蛍光光源を備えた高度な光学パッケージにより、フォトリソグラフィープロセスを正確かつ再現可能に制御できます。自動ローダーと複数の負荷ポートにより、基板の迅速で正確なローディングとアンロードが保証されます。さらに、チャンバーは信頼性の高いデガとウェーハクランプ機能を備えています。アプライドマテリアルズ7800 RPXは、プロセスバリエーションを排除し、プロセスの再現性を高めるプラズマ機器の性能を向上させました。デュアル周波数スイッチング電源は、プラズマシステムを所望のプロセスパラメータで動作させます。高度な温度制御ユニットと水平サーマルウエハサポートにより、温度の均一性とより速い冷却速度を実現します。自動化されたFast Response Closed Loop Gas Outletマシンと冷媒液体冷却熱交換器は、ダウンタイムの少ない効果的なガスおよび化学制御を保証します。この原子炉は、放射線漏れを防止するための内部RFシールドを備えており、チャンバーの上部はIMD絶縁パネルで覆われているため、最大の熱効率とプロセスチャンバー内の最適な放熱を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPXには、効果的なガス計量のための互換性のあるバルブ、チューブ、およびメーターを備えたガス分配ボックスが付属しています。アラーム、インジケータライト、温度および圧力センサーを使用することで、リアルタイムでより良いプロセス制御と監視を可能にします。また、密閉されたSymmetric Lane技術を使用して、汚染のリスクのない再現可能な自動基板処理を行うウエハハンドリングツールも内蔵しています。AMAT 7800 RPXは、半導体製造事業において優れた性能を発揮するよう設計されたオールラウンド炉です。究極の精度、精度、再現性、堅牢性を提供する信頼性の高い資産です。