中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-A3951 #293664959 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-A3951リアクターは、高度な材料加工に使用されるリソグラフィ装置です。電子ビームリソグラフィ（EBL）技術を活用し、各種材料の基板上に超高分解能パターンを生成します。原子炉は、圧力10 − 6mBar以下の真空チャンバーと、チャンバー上に配置されたステンレス鋼板で構成されています。このシステムには、高エネルギー電子を生成するために使用される電子ビーム源が装備されています。これらの電子は、パターンを作成するために基板に焦点を当てています。このプロセスは、デジタル制御されたメインデフレクタープレートと一連のグラデーション、セグメント化、グローバルプレートによって変調されます。これにより、基板上に複雑なデザインを作成できます。このユニットには、リソグラフィ工程中に基板を見ることができる真空チャンバー内の水晶窓プレートも取り付けられています。これにより、パターン形成を観察し、必要に応じてビームを調整することができます。さらに爆発性ガス排気工具を搭載し、生産環境での安全な運転を可能にしています。このアセットはまた、リソグラフィ工程中のビーム電流の迅速な調整を可能にするリアルタイムのビーム電流平衡モデルを提供します。これにより、エラーを最小限に抑えた最適な結果が保証されます。AMAT 0090-A3951炉は、多結晶シリコン太陽電池加工、LED製造、さらにはMEMS製造など、さまざまな用途に使用できます。その高度な機能により、装置は、高精度と制御の高い優れたパターンや構造を生成することができます。