中古 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SA0150LP #181495 を販売中

TEL WAVERMASTERS TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SA0150LPは、半導体加工におけるスルーシリコン（TSV）製造やその他の複雑な用途に使用される高速サーマルプロセッサです。それはタイトな金属ラインのアニーリングおよび急速な熱アニーリング（RTA）のために、超薄い相互接続を作成し、プロダクトの表面で戦略的に分配するのに使用されます。このプロセッサは、TSVレイアウトの変更とウェーハ全体の熱の均一な適用を可能にするため、最先端の集積回路コンポーネントの作成に不可欠です。WAFERMASTERS WAVERMASTERS TEL SA0150LP高速サーマルプロセッサは、柔軟性とスループットの最適化を可能にするオープンプラットフォームのアーキテクチャを備えています。300mm （12インチ）ウェーハ基板を最大1,000°Cまで2分以内に加熱することができる2つの独立制御加熱ステージを備えています。+/-2°Cのウェハ温度精度を90秒未満で実現できます。また、作業温度を最適な範囲に保つために冷却速度を最大化するように設計されており、ウェハ表面の繊細な構造への損傷を防ぎます。このデバイスを使用すると、必要なプロセスに応じて、1時間あたり最大250ウェーハを処理できます。特に金属、誘電体、インターメタリックなどの高度なプロセス要件に適しています。ユーザーは最大16の高精度ガス供給ポイントにアクセスでき、幅広いプロセス技術に化学物質を正確に適用できます。WAFERMASTERS SA0150LP高速サーマルプロセッサには、基板温度をリアルタイムで視覚的に読み取る光ピロメータや、処理開始前にすべての安全条件を満たすことを保証する複数の層のインターロックなど、幅広い安全性と保護機能が搭載されています。さらに、ウエハが最適な温度パラメータを超えないように設計されており、過剰処理やエラーなどのリスクを防止します。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS WAVERMASTERS SA0150LPは、高度で信頼性の高い高速サーマルプロセッサで、最も複雑なタスクを迅速かつ安全に達成できます。高精度、高速、高スループットを実現し、ハイエンドの半導体加工アプリケーションに最適です。