中古 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9103114 を販売中

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STEAG / MATTSON / AST 2900
販売された
ID: 9103114
ウェーハサイズ: 8"
Rapid thermal processing (RTP) system, 8" Single chamber (2) Loaders (2) Unloaders.
STEAG/MATTSON/AST 2900は産業および研究の等級の適用のために設計されている高速、費用効果が大きい急速な熱プロセッサ(RTP)です。高周波、高効率の熱処理装置を使用しており、幅広い温度レベルで迅速かつ正確な温度制御が可能です。これにより、急速な熱アニーリング、急速な熱拡散、および急速な熱酸化などのアプリケーションに最適です。AST 2900は、加熱石英ターゲットと細かく制御された熱赤外線放射源を含む加熱チャンバーで構成されています。この赤外線放射源は2000°Cの温度までターゲットを正確に熱するのに使用されています。その高速熱処理システムにより、ターゲットを加熱し、予めプログラムされた期間内に滞留させ、数秒で再び冷却することができ、急速な熱処理を可能にします。また、サンプルサイズ全体に対して優れた均一性コントロールを提供し、ターゲットに対する熱分布も可能です。サンプル温度を正確に制御するために、STEAG 2900はクローズドループPID温度制御ユニットを備えています。このマシンは、熱電対ベースのフィードバックツールを使用して、サンプル温度を監視および制御します。また、強力な内蔵暖房パワーコントローラを備えており、温度と加熱速度を正確に制御できます。MATTSON 2900は安全な操作のための安全機能の広い範囲をまた誇っています。継ぎ目を付ける部屋は最高の安全のための二重壁の構造と設計されています。それは冷却空気の活動的な循環、また温度調整の失敗のための緊急停止ループを含んでいます。さらに、バネ付きのヒンジで設計されたチャンバードアは、緊急時に迅速かつ簡単に開くことができます。2900は急速な熱処理の適用のための優秀な選択です。その費用対効果が高く、迅速かつ正確な熱処理により、産業用および研究用グレードの両方に適しています。幅広い安全機能と使いやすい制御システムにより、多くの産業および研究用途において信頼性の高い選択肢となります。
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