中古 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9202527 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2800の急速な熱プロセッサは複雑な半導体材料の急速で、精密な熱アニーリングを促進するように設計されている洗練された半導体デバイス製作用具です。このプロセッサは、最新の超高速加熱および冷却技術を組み合わせて、高度な熱制御と対称性を維持しながらプロセス時間を短縮します。このデバイスは、デュアルゾーンガス分散ノズルを備えており、最適なサーマルアニーリングのためにウェーハ全体に適切なガス混合物分布を可能にします。さらに、プロセッサ独自の加熱サセプタプレートにより、ウェーハ表面全体を適切かつ一貫した加熱が保証されます。これにより、プロセス実行間の最適な熱均一性と再現性が保証されます。このプロセッサは、オンボードコンピュータシステムを使用して、ウェーハ表面の高精度なサーマルプロファイリングを行うことができます。これは、高精度な熱流束センサと高度なソフトウェア制御アルゴリズムを使用して、時間経過とともに温度の変化を非常に高い精度で測定および記録することによって実現します。このデータにより、熱アニーリング時間と温度の精密制御が可能になり、また、プロセスが事前に決定されたプロファイル内にとどまることを確実にするためのフィードバックも提供されます。また、予期せぬ過熱の場合にウェーハを急速に冷却することができる非常用熱除去システムなど、最新の安全技術も搭載しています。さらに、プロセッサは最大200Mbarの圧力環境で動作すると評価されており、熱アニーリング中に繊細な材料が副作用を起こさないようにします。全体として、AST 2800ラピッドサーマルプロセッサは、繊細な材料の迅速で正確なサーマルアニーリングを必要とするあらゆる半導体製造操作にとって貴重なツールです。高度な温度測定と制御アルゴリズムと高度な安全機能を組み合わせることで、幅広いプロセスに対応する高信頼性で汎用性の高いデバイスとなります。