中古 MPT RTP-600XP #9027274 を販売中
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販売された
ID: 9027274
ウェーハサイズ: 2"-6"
ヴィンテージ: 2004
Rapid thermal processor, 2"-6"
Applications: RTA, Annealing, Implant Activation, Oxidation & Reflow
Thermal processing: Si, Ge, Si/Ge, GaAs, InP and Other semiconductor materials
Temperature range rate: 250-1300°C
Temperature ramp rate: 1-200°C/sec
Quartz process chamber, Capable of handling inert and Reactive gases
Dual color pyrometer with Auto-Calibration feature
(2) MFC Controlled gas channels; Upgradeable to 6 channels
Integrated Windows NT based pentium processor
Software revision 3.10
208 V, 60 Hz, 3-Ph, 80 A
2004 vintage.
MPT RTP-600XPは、さまざまな業界の幅広い熱処理を処理するために設計されたRapid Thermal Processor （RTP）です。ダイレクトサーマルカップリングシステムを採用し、アニーリング、酸化、窒化、拡散などの高速プロセスにおいて、精密な温度制御と急速加熱を可能にします。RTP-600XPユニットは476x406x127mmのチャンバーサイズを備えており、より大きな加工プロジェクトに適しています。その頑丈な、耐久の部屋の構造は最高の信頼性および均一な暖房を提供します。この機械には真空能力もあり、アウトガス処理などの特殊プロセスに最適です。MPT RTP-600XPには、独立した時間と温度曲線制御を備えた特別に設計されたサーマルプロファイル発生器（TPG）を備えた低熱質量熱輸送ツールがあります。この資産のユニークな設計は、最小限の歪みで最高の熱結果を保証します。それはまた真空と圧力プロセスの制御された組合せを可能にする開いた大気の暖房機能を備えています。RTP-600XPモデルは、自動調整などの高度な制御と最適化機能を備えており、熱曲線を事前にプログラムして将来の使用のために保存することが容易になります。また、予熱時間を正確に制御する機能を備えており、可能な限り最高の精度を保証します。MPT RTP-600XPは、高精度の温度センサのための優れた機器であり、プロセスのより良い制御を可能にします。均一で清潔で安定した結果が得られます。様々な用途に対応できるRTP-600XPで、効率的で信頼性の高い熱処理を求める幅広い業界に最適です。
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