中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage 5 #9399299 を販売中

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ID: 9399299
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" (2) Vulcan chambers (3) Factory interface: FOUPs Handler system CIM: Secs gem 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 5 Rapid Thermal Processorは、半導体製造と高度なパッケージング技術のために開発された、先進的な急速熱アニーリング(RTA)装置です。この信頼性の高い堅牢なRTAシステムは、半導体デバイスの製造および高度なパッケージングアプリケーション向けに設計されています。AMAT Vantage 5は、高速加熱および冷却時間、優れた温度均一性、および正確なプロセス再現性を提供します。APPLIED MATERIALS Vantage 5 RTAユニットは、Advanced Process Control (APC)テクノロジーを使用しており、製品寸法がますます小さくなる中で最高品質の結果を提供します。特許取得済みの高度なプロセス温度制御(APTC)アルゴリズムは、最も効果的な温度均一性を保証します。このマシンはまた、最速のサイクルタイムを確保するために自動最適化を備えています。Vantage 5の高速、高い再現性と再現性は、特にシリコンやSiGe合金などの加工材料において、高性能なアプリケーションに最適です。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 5 RTAツールは、環境制御チャンバーで設計されており、ユーザーに清潔で乾燥した化学物質を含まない作業環境を提供するためのガスシールエンクロージャを備えています。特許取得済みの自動パーティクル制御技術により、ユーザーは厳格なパーティクル制御を維持し、ウェーハを汚染から保護できます。アセットには様々なカスタマイズ可能なオプションも用意されており、ユーザーは特定のニーズやアプリケーションに合わせてモデルを調整することができます。AMAT Vantage 5は、オンラインSPC、パーティクルモニタ、データ収集、プロセスおよびウェハーマッピング、およびウェハトラッキングを備えた高度なコントローラを通じて、精密なプロセス監視を提供します。さらに、ロボットアームの組み込み、洗浄装置、ウェーハ搬送など、アプリケーションのさまざまなカスタマイズも提供します。要約すると、APPLIED MATERIALTS Vantage 5 Rapid Thermal Processorは、高性能アプリケーションに最適な高度な熱アニーリングシステムです。これは、高度なコントローラを介して優れた温度均一性と再現性、ならびにプロセス監視を提供します。Vantage 5はまた、環境制御チャンバとカスタマイズ可能なオプションを提供し、半導体デバイスの製造および高度なパッケージングアプリケーションに最適なソリューションです。
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