中古 TEL / TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8 #293658866 を販売中

TEL I/F Block for Clean Track Mark 8は、フォトレジストを高精度に露出させ、基板上にパターン化されたフィルム画像を作成するために設計されたフォトレジスト機器です。高精度に設計されており、露出と画像開発のためのコスト効率が高く、高スループットでユーザーフレンドリーなツールです。6インチ基板用に約20m/sの変調スキャンを搭載し、露光時間を最小限に抑え、画像のぼかしを低減します。また、0.1µmの最大位置精度と基板のエッジスキャンにフルイメージエッジを備えた自動ウェーハアライメントも備えています。高品質な光学イメージングマシンを採用し、幅広いイメージフォーミング機能を実現しています。基板ジッタをトータルコントロールするための2ピースの鋳鉄製グリッドで設計されており、軸方向の傾きは基板上の正確で反復可能な画像配置のために調整可能です。このデバイスの自動レベリングツールは、高速リニアドライブ、精密エンコーダ、およびZ軸ガルバノメータコントローラを使用して、正確で反復可能な基板位置決めを保証します。このアセットは、光路の温度関連の膨張と収縮を最小限に抑え、優れたイメージング性能を実現するように設計されています。TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8の先進露出コントローラは、グラフィカルユーザーインターフェースを使用して操作が簡単です。統合されたPARADITMソフトウェアパッケージにより、露光時間、スポットサイズ、フォーカスなどのイメージングパラメータを最適化し、最大露光精度を実現します。最後に、このモデルは、フォトレジストコーティングの広い範囲にわたって優れたイメージング性能を提供するように設計されています。精密露光装置は、TEL/TOKYO ELECTRON独自のリソグラフィ製品で使用する場合に最適な性能に最適化されています。さらに、このデバイスは、さまざまなサードパーティのフォトレジスト製品と互換性があります。TEL I/F Block for Clean Track Mark 8は、コスト効率が高く、高スループット、およびユーザーフレンドリーなフォトレジストイメージングのための高度な露光システムをユーザーに提供するように設計されています。その設計特徴は優秀なイメージ投射の性能および最高の露出の精密を保障します。