中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269628 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450フォトレジスト装置は半導体製造プロセスに使用する半自動成膜システムです。このユニットは、カスタマイズされたユーザー定義のプロセスでフォトレジスト材料の精密蒸着を提供するように設計されています。このマシンは、オペレータパネルを内蔵したコントローラモジュール、基板処理/フォトレジストハンドリングモジュール、真空蒸着モジュール、光アライメントモジュール、検出モジュールで構成されています。Controller ModuleにはWindowsベースのソフトウェア制御が含まれており、ユーザーはカスタム沈着プロファイルを定義して保存し、ツールパラメータを監視できます。基板処理/フォトレジスト処理モジュールは、基板処理および前処理プロセスを担当します。これは、基板を保持するための熱ユニットと特別な目的のカセットが含まれています。真空蒸着モジュールは、フォトレジスト材料やその他の薄膜材料を基板に堆積させるように設計されています。それは均一な薄膜の沈殿のための低圧、ダイヤフラム制御の沈殿の技術を使用します。オプティカルアライメントモジュールは、蒸着源との関係で基板のアライメントを提供します。このモジュールには、基板またはウェーハの位置を検出するためのカメラ、および基板の正確な登録のための可動光調整装置が含まれています。最後に、Detector Moduleはサンプルウェーハに堆積した薄膜の厚さを測定します。全体として、TEL CS450フォトレジスト資産は、さまざまな半導体製造プロセスにおけるフォトレジスト沈着を実行するための合理化された費用対効果の高いモデルです。この装置は、精密薄膜蒸着用の統合プロセス制御、前処理、真空蒸着部品など、複数のユーザーフレンドリーな機能を備えています。さらに、同システムには光学アライメントモジュールが組み込まれており、均一な成膜のための基板の適切なアライメントが保証されています。検出モジュールは、堆積フォトレジスト材料の正しい厚さを保証します。東京電子CS 450は、半導体製造プロセスにおける薄膜成膜に最適なユニットです。